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生产电子级多晶硅的影响因素 张娜 【期刊名称】《《化工管理》》 【年(卷)，期】2019(000)028 【总页数】2页(P88-89) 【关键词】多晶硅;电子级;原料;精馏;尾气回收;还原 【作者】张娜 【作者单位】国电内蒙古晶阳能源有限公司内蒙古鄂尔多斯010321 【正文语种】中文 【中图分类】TQ127.2 1引言 多晶硅作为光伏材料被广泛应用。生产多晶硅的生产工艺主要有：西门子法、硅烷 法、冶金法、锌还原法、改良西门子法、碳热还原法等。改良西门子法因其有节能、 节省物耗、减少污染等优点是目前多晶硅厂家应用最广泛的生产工艺。 改良西门子法生产工艺流程为：硅粉与氯化氢在合成工序生产出三氯氢硅，将生产 出的三氯氢硅进入精馏工序进行提纯，生产出高纯度的三氯氢硅，再将高纯的三氯 氢硅与尾气回收车间制取的高纯氢气共同进入还原工序生产多晶硅，还原车间应用 化学沉积法生产出多晶硅，多晶硅最后经破碎，称量与包装等工序后入库待售。同 时还应设置三废的处理及水、锅炉、空分公用工程等辅助工序。国电内蒙古晶阳能 源有限公司改变传统的生产工艺由原来的热氢化工艺改变为应用冷氢化工艺来生产 三氯氢硅。改变工艺后硅粉转化率得到了较大的提高。冷氢化工艺主要是用硅粉、 氢气，四氯化硅在高压条件下生产出三氯氢硅。冷氢化工艺的优点：一是提高了物 料的转化率，二是有效实现了四氯化硅等副产物的循环利用，三是厂区内的环