分子束外延（MBE）用高纯铝源.pdfVIP

分子束外延 （MBE）用高纯铝源 1 范围 本文件规定了分子束外延 （MBE）用高纯铝源的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单等要求。 本文件适用以A199. 9995 % 以上高纯铝为原料，采用偏析熔炼法生产的分子束外延 （MBE）用高 纯铝源 （以下简称高纯铝源）。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用 于本文件。 ASTM F1593-08 （16）高质量分辨率辉光放电质谱仪测定电子级铝中痕量金属杂质的标准试验方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 高纯铝源 High purity aluminum source 铝含量≥99.99995%的铝材。 4 分类 高纯铝源按其外观不同分锭状和丝材、颗粒、型材 a) 锭状，是提纯后直接得到的铝锭，一般为圆锭； b) 丝材，为直径20mm以下或截面最大边小于20mm的挤压得到的铝线； c) 颗粒，为由丝材切割后得到长度不大于60mm的铝粒； e) 型材，是锭子通过塑性变形后得到的区别于丝材和颗粒的其他形状的铝材。 5 技术要求 5.1 外观 5.1.1 高纯铝源圆锭产品表面为银白色，表面光亮，具有清晰结晶条纹，有金属光泽的圆柱形固体,表 面不得有肉眼可见的孔洞、夹杂。 5.1.2 高纯铝源丝、颗粒、型材等产品表面为银白色，表面光亮，具有清晰结晶条纹, 表面允许有挤压 拉丝切割等机械加工处理后不影响用户使用的缺陷。 1 5.1.3 高纯铝源的重量或尺寸要求在供需双方合同中明确规定。 5.2 化学成份 高纯铝源产品的化学成份应符合表1的规定。 表1 分子束外延 （MBE）用高纯铝源的化学成分 元素 成分要求 元素 成分要求 元素 成分要求 Li ＜ 0.01 Ga ＜ 0.01 Nd ＜ 0.01 Be ＜ 0.01 Ge ＜ 0.01 Sm ＜ 0.01 B ＜ 0.01 As ＜ 0.01 Eu ＜ 0.01 H ＜ 1 Se ＜ 0.01 Gd ＜ 0.01 F ＜ 0.05 Br ＜ 0.01 Tb ＜ 0.01 Na ＜ 0.01 Rb ＜ 0.01 Dy ＜ 0.01 Mg ＜ 0.1 Sr ＜ 0.01 Ho ＜ 0.01 Al / Y ＜ 0.01 Er ＜ 0.01 Si ＜ 0.12 Zr ＜ 0.01 Tm ＜ 0.01 P ＜ 0.05 Nb