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半导体集成电路行业vocs治理技术的应用 1 半导体微生物行业vocs的环保整治需求 在生产半底电子产品时，有机溶剂广泛应用于每个生产工艺中，如清洁、研磨、摄影、干燥、涂层等。随着生产工序工艺流程条件的不同，形成浓度不一的挥发性有机气体（Volatile Organic Compounds，简称VOCs），随着工艺排气排放与大气中，造成自然生态环境的破坏及对人体的危害，虽然世界各先进国家为防止生态环境的继续恶化及保护人体的健康，陆续对VOCs的排放制定了较为严格的排放标准，并且相互约定，逐年递减降低其排放量，尤其在半导体微电子行业，结合其特殊的工艺环节，每年的VOCs排放量不可忽视。相关报道表明，人及其环境受到VOCs的影响非常大。所以，我们必须积极推进半导体微电子行业VOCs的环保整治，不仅要从源头上削减VOC的排放，同时也要寻求高效处理VOC的先进技术。 由于需要治理的VOCs来自不同制造工序，浓度波动性大，所以在选择处理工艺时需要先对有机废气处理的方法进行了解和分析。目前市面上提供的挥发性有机气体处理设施数量繁多，但万变不离其宗，本质工艺均不出洗涤、冷凝、吸附、焚烧、生物处理法等。而且所需治理的废气大多为复杂的混合废气，为了同时达到经济和环保效益，常常综合两种及以上工艺共同使用。由于每种治理工艺均有其使用的范围及优、缺点，在设置前最好能先了解待处理废气的组成浓度、排放周期，治理标准及设施可利用的地点、空间，再行选择合适的处理系统。 一般而言，半导体微电子行业的工艺废气大都具有大风量（＞30000m 随着全国各地关于VOC的排放标准日趋严格，无疑不论对工业排放企业还是第三方环保服务公司，都面临节能减排的极大压力。当然，压力与机遇并存，统治环保废气治理界20多年的活性炭吸附工艺，已无法满足当前市场的需求。RC+RTO技术应运而生，由于其高且稳定的处理效率特点，使他成为环保界一枚耀眼的新星。 2 治理声明 2.1 工作完成后的描述 上海某光电子企业的废气来源于阵列工序车间，根据实测数据，车间原有通风量为60000m 2.2 废气回收控制系统—工艺流程及其原理介绍 该工艺治理技术由RC吸附与RTO组合而成，如右图1所示，治理系统由6部分构成，分别为：干式过滤器、RC系统、RTO系统、风机系统、热交换器、PLC自控系统。 首先通过预处理系统，去除掉颗粒物，然后进入RC系统，对原有的废气进行吸附浓缩净化，最后浓缩下来的高浓度废气经过200℃高温脱附送入到RTO系统进行高温焚烧，最终被分解为CO （1）预处理系统 VOC通过1预处理系统（初、中、高、超高效四级过滤器）进行预处理，作用主要是去除粉尘、漆雾、颗粒物和调节废气湿度，来确保RC系统中的沸石保持持久的使用寿命和较高的处理效率。 （2）吸附浓缩-高温脱附-冷却降温系统 预净化后的VOC在3主排风机的抽送下进入2RC系统进行吸附浓缩，调节转轮的转速为3.5R/H，废气中的VOC经过转轮的吸附浓缩区后得到净化，净化后的洁净气体通过烟囱排放到大气中；另外一股洁净空气在脱附风机的作用下，首先是对转轮的冷却区进行降温，而后通过热交换器的作用被加热到200℃进入转轮脱附区进行脱附，脱附后的转轮依次进入冷却区，重新获得再生吸附的效能。 （3）RTO系统 从转轮表面脱附下来的高浓度VOCs被送入到RTO系统，进行高温焚烧，净化后的高温烟气进入蓄热室，在表面规整的蜂窝状陶瓷蓄热体的作用下，92%的热量被 “储存”起来，蓄热后的排气温度≤50℃，与RTO入口温度相接近。经过蓄热的陶瓷，根据PLC控制，将提升阀组进行定时切换，使得具有蓄热和放热的功效，最终实现余热利用，节能环保。 （4）PLC自控系统 该废气处理系统的运行是通过PLC程序进行自动控制的，特别是对系统的点火检测、温度控制、风机开启、阀门开关、压力控制、VOC浓度等进行连续监测及相应的连锁控制，实现全天24h自动运行。 本组合式技术具有下述特点： （1）对比传统的活性炭吸附装置，处理效率高且稳定，满足最新的排放标准。另外RC系统同时完成吸附净化-脱附再生-冷却降温，可以应对短时间的工况波动。 （2）因沸石不可燃，故选择沸石作为吸附剂，没有安全隐患。 （3）可以承受得住高温脱附，脱附速率快，可以解决高沸点VOC的难脱附问题。 （4）危废处置费用极低。对比活性炭来说，因为正常情况下，沸石的使用寿命≥10年，无需每年进行更换及处置，而活性炭最多用一年就必须进行更换，且处置费用与其本身价格同样，导致其运维费用高。 （5）采用RTO技术，相比较传统的CO、TO相比，其具有较高的净化效率（≥99%）、较高的热回收效率（≥95%）、较低的运维成本低。 3 废气系统的净化效率分析