半导体器件 微机电器件 第3部分：拉伸试验用的薄膜标准试验片-编制说明.pdfVIP

国家标准征求意见资料 一、工作简况 1、任务来源 本项目是国家标准化管理委员会下达的国家标准制定计划，由工业和信息化 部(电子)归口，项目计划号T-339。任务起止时间是2020年11月至2022 年5月。 2 、主要工作过程 在接到该项国家标准制定任务后，成立了标准编制组，收集了有关拉伸试验、 薄膜材料的标准，对相关标准内容进行了研究和分析工作，并进行调研走访，征 集意见和建议，按照国家标准编制程序与要求，进行《半导体器件 微机电器件 第 3 部分：拉伸试验用的薄膜标准试验片》的编制，主要编制过程如下： 1）成立标准编制组 2021 年 1 月，成立了由河北美泰公司和中电国基北方有限公司的相关设计 师、工艺师、标准化员以及相关领导组成的标准编制组，并明确分工、各阶段的 时间节点以及各阶段的主要工作内容。 2）标准资料查询、收集和分析 2021 年2 月～5 月，编制组查询、收集和分析了拉伸试验、薄膜材料相关的 国内外标准和文献资料，对标准资料进行了分析和整理。 3）标准起草 2021 年 5 月～2021 年 8 月，通过对收集资料的分析和研究，按照 GB/T 1.1-2020 《标准化工作导则 第 1 部分：标准的结构和编写》和 GB/T 1.2-2020 《标准化工作导则 第2 部分：以ISO/IEC 标准化文件为基础的标准化文件起草 规则》的要求，于2021 年9 月完成标准草案的编制，包括范围、规范性引用文 件、试验片材料、试验片制备、试验片形状、试验片厚度、标距刻度线、试验、 试验报告等章节，并在美泰公司内部组织对标准草案进行了讨论，编制组根据意 见进行了标准文本的修改和完善，形成了 GB/T xxx-201X 《半导体器件 微机电 器件 第 3 部分：拉伸试验用的薄膜标准试验片》征求意见稿初稿。2021 年 9 月～10 月在参编单位范围内征求意见，并根据提出的修改意见，进一步修改完 1 国家标准征求意见资料 善标准内容，形成标准征求意见稿。 3、标准编制的主要成员单位及其所做的工作 起草单位：河北美泰电子科技有限公司、中电国基北方有限公司。 河北美泰电子科技有限公司负责技术调研、资料收集、IEC标准翻译和技术 研究、标准各阶段文件的编写、征求意见等工作。 中电国基北方有限公司负责参与技术研讨、标准编写指导、意见处理情况确 认等工作。 二、标准编制原则和确定主要内容的依据及解决的主要问题 1、编制原则 1）根据薄膜材料自身的特点和产品研制、生产、使用中对薄膜材料参数测 试的实践经验积累，等同采用IEC 62047-3：2006 《半导体器件微机电器件 第 3 部分：拉伸试验用的薄膜标准试验片》。 2）认真贯彻国家有关法律法规和方针政策，依据 GB/T 1.1-2020 和 GB/T 1.2-2020 给出的规则编写。 3）合理利用资源，推广先进技术成果，在符合使用要求前提下，有利于标 准对象的简化、选优、通用和互换，做到技术上先进、经济上合理，薄膜材料是 微机电系统（MEMS）、微机械和同类微型器件的主要结构材料，标准文本中规定 的薄膜材料的拉伸试验方法是国际通用的方法。 2 、确定主要内容的依据 标准编制过程中考虑了相关标准的协调配套，积极采用国际标准。目前与薄 膜材料试验有关的国际标准有IEC 62047系列标准，其中IEC 62047-3 《半导体器 件 微机电器件 第3部分：拉伸试验用的薄膜标准试验片》，该标准对基于半导 体技术制作的微机电器件中薄膜材料试验片的的要求进行了规定，本标准等同采 用IEC 62047-3。 本标准部分试验方法引用了IEC 62047-2 《半导体器件-微机械装置-第二部 分：薄膜材料的拉伸试验方法》，ISO 17561 《精细陶瓷（高级陶瓷，高级工业 陶瓷）-室温下通过声共振在对单片陶瓷弹性模量的试验方法》，ISO 6892、ISO 17561中术语适用于本标准。 2 国家标准征求意见资料 本标准包含九章内容，即：范围、规范性引用文件、试验片材料、试验片制