第四节 新型角度传感器.pptVIP

第一页，共三十八页，2022年，8月28日 本节主要内容 内容：： 1、圆光栅：类型、莫尔条纹 2、圆磁栅 形成： 测量原理 3、感应同步器： 分类、应用、工作原理、圆形感应同步器 4、角编码器：定义、类型、工作原理 5、环形激光器： 重点：圆光栅和环形激光器的测量原理 第二页，共三十八页，2022年，8月28日 第三页，共三十八页，2022年，8月28日 第四页，共三十八页，2022年，8月28日 第五页，共三十八页，2022年，8月28日 第六页，共三十八页，2022年，8月28日 第七页，共三十八页，2022年，8月28日 一、圆光栅 莫尔条纹：两等线距光栅相互成一小角度时，即形成莫尔条纹；两光栅相互运动时间看到的是莫尔条纹运动。 莫尔条纹的特点： 放大作用：相对原光栅具有放大（移动）的作用； 误差平均； 信号波形的正弦性。 第八页，共三十八页，2022年，8月28日 两光栅交点由栅线序数 N、M组成。 K=M－N 第九页，共三十八页，2022年，8月28日 令K=M－N 条纹I： (-3,-1)、(-2,0)、(-1,1)、(0,2)、(1,3) …K=2 条纹II ： (-2,-1)、(-1,0)、(0,1)、(1,2)、(2,3) … K=1 条纹III ：(-1,-1)、(0,0)、(1,1)、(2,2)、(3,3) …K=0 设两光栅节距分别是P1、P2，相交角θ 可得莫尔条纹方程： 第十页，共三十八页，2022年，8月28日 长光栅莫尔条纹 播放动画 第十一页，共三十八页，2022年，8月28日 长光栅光闸莫尔条纹 播放动画 第十二页，共三十八页，2022年，8月28日 圆光栅类型：径向圆光栅（图3-29a） 切向圆光栅（图3-29b） 圆光栅的莫尔条纹有许多类型，在角度测量中主要是应用以下两种：环形莫尔条纹和圆弧形莫尔条纹。 图3-29 圆光栅 第十三页，共三十八页，2022年，8月28日 1．环形莫尔条纹 形成：将两块栅线数目相同，切线圆半径分别为r1和r2的切向圆光栅同心安置（图3-30），形成以光栅中心为圆心的莫尔条纹簇，叫做环形莫尔条纹。条纹间距B为 ： 　式中，W为栅距；R为平均半径。 特点：当两光栅相对转过一个栅距时，环形条纹就由中心向外（或向内，由旋转方向而定）移过一个条纹（演示）。该条纹最适用于多读数头的测量装置 图3-30 切向光栅产生环形莫尔条纹 第十四页，共三十八页，2022年，8月28日 第十五页，共三十八页，2022年，8月28日 环形莫尔条纹 播放动画 播放中…… 单击准备演示 第十六页，共三十八页，2022年，8月28日 2. 圆弧形莫尔条纹 形成：将两块栅线数目相同的径向圆光栅偏心安置（偏心量为e），则两光栅的栅线交角将不同，这样就会形成曲率半径各不相同的圆弧形莫尔条纹簇，如图3-31所示。 特点：条纹簇都与两光栅中心连线相切于连线的中心点，条纹簇的圆心都位于两光栅中心连线的垂直平分线上；条纹间距随条纹的位置而不同。 条纹有三种形式： 横向莫尔条纹； 纵向莫尔条纹； 斜向莫尔条纹； 角度测量中多用横向莫尔条纹。 图3-31 径向光栅产生圆弧形莫尔条纹 第十七页，共三十八页，2022年，8月28日 第十八页，共三十八页，2022年，8月28日 播放中…… 圆弧莫尔条纹 单击准备演示 播放动画 第十九页，共三十八页，2022年，8月28日 光闸莫尔条纹 播放动画 播放中…… 第二十页，共三十八页，2022年，8月28日 单击准备演示 辐射形莫尔条纹 播放动画 第二十一页，共三十八页，2022年，8月28日 圆光栅是精密测角的主要器件之一，广泛用于测角、刻度和度盘检测。图3-32是利用圆光栅检定度盘的示意图。 图3-32 用圆光栅检定度盘 第二十二页，共三十八页，2022年，8月28日 二、圆磁栅 图3-33 圆磁栅（沿圆周展开） 1—基体；2——磁膜 1．形成： 在一个圆柱（圆盘）基体的表面上镀上一层磁膜，当圆盘均匀旋转时，把由一标准频率（信号）发生器（如石英振荡器）发出的频率极为准确稳定的正弦波电压信号，记录在磁膜上面，磁膜经交流反复磁化，就形成如图3-33所示之磁极对应的磁格（N和S两两相对），此录磁圆盘就是以磁波为分度标准的圆磁栅。 第二十三页，共三十八页，2022年，8月28日 图3-34为录磁装置的示意图 　　图3-34 录磁原理示意图 第二十四页，共三十八页，2022年，8月28日 2．测量原理：利用圆磁栅测角或分度时，磁栅和被测件一起同轴旋转，再利用放磁头将磁栅上的标准录磁信号拾放出来，并进行处理。 3．磁头类型：按拾取信号方式不同，分静态和动态磁头两种； 动态磁头：磁栅与磁头间