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压电陶瓷驱动6支链并联微动机器人设计 微动机器人作为微操作系统的重要组成部分，在精密机械工程、光纤连接和生物工程等领域具有广阔的应用前景。随着微纳米技术的快速发展,对具有纳米级定位精度的多自由度微动机器人提出了更高要求。 在并联微动机器人研究方面,Ellis首先提出采用压电陶瓷驱动的并联微动机器人,然后许多并联微动机器人样机相继诞生。其中6自由度并联微动机器人多采用6支链结构,如Hudgens和Tesar提出了一种完全并联的Stewart平台式微操作手;安辉研制了压电陶瓷驱动的6-PSS并联微动机器人;金振林等提出了基于6-PSS三维平台机构的并联微动结构。这些并联微动机器人相对串联结构而言具有结构紧凑,刚度大等优点;但作为精密微动机器人,这些6支链并联微动机器人也存在传动链多,结构复杂,装配误差大等不足,因此难以达到理想精度。为了提高精度和减少结构复杂性,提出了压电陶瓷驱动3支链6自由度并联微动机器人结构。采用整体式下平台和3条两端带有柔性球铰链和单轴直圆柔性铰链的支杆,使结构紧凑并有利于提高精度。在分析逆解的基础上,根据工作空间要求设计了整体尺寸。根据柔性铰链选取原则和其刚度模型,对直角弹性平板和支杆处柔性铰链进行尺寸选择,然后采用有限元方法对整体刚度进行分析和安全校验,最后对样机进行了测试。 1 微动单元结构模型 图1为3支链6自由度并联微动机器人的结构示意图。3条固定长度