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压电陶瓷驱动6支链并联微动机器人静刚度分析 0 自由度串联微动机器人 微动机器人作为微操作系统的重要组成部分，在精密机械工程、光纤连接、生物工程等领域具有广阔的应用前景。随着微纳米技术的快速发展,人们对具有纳米级定位精度的多自由度微动机器人提出了更高的要求。 在并联微动机器人的研究方面,ELLIS首先提出采用压电陶瓷驱动的并联微动机器人。之后许多并联微动机器人样机相继诞生,其中6自由度并联微动机器人多采用6支链结构。HUDGENS等提出了一种完全并联的Stewart平台式微操作手;安辉研制了压电陶瓷驱动的6-PSS并联微动机器人;金振林等提出了基于6-PSS三维平台机构的新型并联微动结构。这些并联微动机器人相对串联结构而言具有结构紧凑,刚度大等优点,但作为精密微动机器人,这些6支链并联机器人也存在结构复杂,建模困难,装配误差大等不足,因此难以达到理想精度。 鉴于以上原因,为提高精度和减少结构复杂性,本文提出采用压电陶瓷驱动的3-PPSR结构作为6自由度并联微动机器人构型。静刚度作为并联微动机器人的重要性能指标,对最终定位精度有重要影响。首先通过系列坐标变换求出了机器人的逆解矩阵及支杆柔性铰链处微小角位移和机器人末端位姿关系。在此基础上运用虚功原理推导了此类微动机器人的静刚度矩阵,进而对机构各几何参数对刚度的影响规律进行分析。 1 自由度精密微动平台 图1为3支链6自由度并联微动机