压电陶瓷驱动器柔性微位移放大机构的设计.docxVIP

压电陶瓷驱动器柔性微位移放大机构的设计 近年来，电动汽车器是开发出来的一种新型微位移装置。它以体积小、重力大、分辨率高、易于控制等优点而被广泛应用于精密机械中。压电陶瓷驱动器的一个很大缺点是其输出位移较小,在实际应用中,常常需要将压电陶瓷驱动器的输出位移进行放大,以满足长行程精确定位的需要。 柔性铰链的中部较为薄弱,在力矩的作用下可以产生弹性角变形,力矩去除后能恢复到原形,在机械结构中起到铰链的作用。柔性铰链具有结构紧凑、运动平稳、无需润滑、不需要装配、无机械摩擦和回退空程等优点。近年来柔性铰链经常与压电元件、电磁元件等动力转换元件配合使用,在精密定位工作台、超精密机械加工、微夹持与微装配等应用领域得到了广泛的应用。 柔性微位移放大机构正是利用了柔性铰链结构薄弱部分的微小弹性角变形及其自回复的特性设计而成的,该机构可将压电陶瓷驱动器的位移放大,拓展压电陶瓷驱动器的应用范围和应用领域。 1 柔性新型真合结构的基本理论 直圆柔性铰链的柔度对位移放大机构的性能影响很大,对其进行理论计算与分析意义十分重大。当柔性机构中某一个杆件上有驱动力或者承受到外载荷时,这些力会对其它杆件上的柔性铰链产生附加的力和弯矩的作用。就柔性铰链本身而言,其所受的复杂外力总是可以转化为通过柔性铰链一端的三维坐标轴上的力和弯矩的合成,而另一端为固定端。图1为直圆型柔性铰链的几何结构及受力示意图,柔性铰链分别受到三