一种带定位的硅片传输装置和传输系统.pdfVIP

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  • 2023-08-17 发布于四川
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一种带定位的硅片传输装置和传输系统.pdf

本实用新型公开了一种带定位的硅片传输装置和传输系统,包括二次定位机构和对称设置的传输带,所述传输带上对称设置有若干定位部件,且同一所述传输带上的所述定位部件等距分布;所述定位部件包括与硅片的边角匹配的导向部和分割筋,所述定位部件位于所述分割筋的两侧形成对称设置的所述导向部;位于两所述传输带间的所述二次定位机构包括推板和若干导向块,全部的所述导向块固定在所述推板的上表面,所述导向块和所述定位部件对应分布;所述导向块的上表面设置有定位筋,且所述定位筋和与其对应的所述分割筋共线,所述推板能够带动所述导

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210123724 U (45)授权公告日 2020.03.03 (21)申请号 20192

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