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微机电系统-MEMS简介8:04 PM1 MEMS定义早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS: MicroelectromechanicalSystem 。由于MEMS是微电子同微机械的结合，如果把微电子电路比作人的大脑，微机械比作人的五官（传感器）和手脚（执行器），两者的紧密结合，就是一个功能齐全而强大的微系统。8:04 PM2 图1微机电系统的组成框图微机电系统的组成框图如图1 所示，它是将微机械、信息输入的微型