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大直径高效N型单晶硅的单晶炉.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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大直径高效N型单晶硅的单晶炉.pdf

    本实用新型公开了一种能够降低通入氩气对炉体内热场造成影响，能够保证氩气气流稳定的大直径高效N型单晶硅的单晶炉。该大直径高效N型单晶硅的单晶炉，包括炉体、上炉腔；所述炉体的炉膛内设置有坩埚、石墨托、底部旋转支撑杆；所述坩埚外侧设置有加热装置以及保温罩；所述保温罩上方设置有环形布气筒；环形布气筒与保温罩顶部以及炉体内壁之间形成惰性气体进入腔；惰性气体进入腔内设置有气体加热装置；坩埚上方设置有导流筒；所述保温罩底部设置有通气孔；炉体上端设置有连通惰性气体进入腔的进气口；所述布气筒上设置有布气孔，所述炉

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210215612 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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