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微型射频接收线圈的设计与微加工 1 mri基本原理及应用现状 磁共振成像技术（mri）是一种具有潜力的新兴技术。它利用核磁共振的方法和计算机处理技术等来得到人体、生物体和物体内部一定剖面的一种原子核素的浓度分布图像。根据该图像可进行组织和物质结构的分析。MRI无需离子放射,也不需要图像增强剂,具有分辨率高、灵敏度高、对检测样品无危害等特点,在临床诊断和其他医学领域得到了极其广泛的应用。 随着生物技术的迅猛发展,人们希望在微观上突破以往的影像学仅用于显示大体解剖与大体病理学改变的技术范畴,寻求一种显微细胞学、分子水平以至基因水平的成像技术,以突破生物领域研究的技术瓶颈。MRI技术研究的化学元素多,不仅可提供解剖形态信息和新陈代谢生理功能等信息,还可以得到其他科学方法难以获得的物质结构和特性等方面的信息,在研究复杂的生物大分子甚至生物活体方面显示出了极大的优势。然而,随着样品体积的缩小,传统大体积的射频接收线圈与检测的小样品之间的耦合系数降低,从而导致信噪比下降,不能很好地满足微观领域研究的需要,而具有高品质因数的微型RF接收线圈是实现MRI技术在微观领域研究应用的关键,已成为了当今的研究热点。 随着微型机电系统(micro-electro-mechanical system, MEMS)技术的出现和发展,微型线圈的制作方法已经从传统的金属丝缠绕加工方式发展到了微机械加工制作方法,线圈几何形状的可控性、微型化和集成化程度都得到了提高,但在深宽比线圈的研制方面还有一定的局限性。近年来, Massin 等人利用SU-8光刻胶制作出了厚度达几十微米的线圈,但是,在传统的去胶液中,SU-8光刻胶会膨胀变形,从而可能导致图形的失败。 本文基于核磁共振原理,根据品质因数与线圈结构的关系进行了结构优化设计,利用MEMS微加工技术在玻璃衬底上制作了一种高深宽比的微型射频线圈,并给出了相关的实验结果和分析。 2 微加工对圈的设计 MRI主要由提供静电磁场的磁元件、RF发生器、RF接收线圈和信号处理单元组成。其组成框图如图1所示。接收线圈置于静态磁场中,被检样品放置在接收线圈的中央,射频发生器产生激励磁场。根据磁共振原理,静磁场中的原子会产生自旋,自旋的原子将吸收外界的射频能量实现能级的跃迁和还原。还原过程中将产生一个与内部原子核浓度相关的电磁波信号。利用射频接收线圈、扫描信号、编码技术和信号处理电路可探测接收该信号,并构建反映物质组成的二维或者三维图形。在此过程中,系统的信噪比主要由射频线圈的性能决定。 由于被测样品是放置于接收线圈中,结合微加工制作方法,微型射频线圈的结构通常采用螺旋形状。线圈微型化后,线圈的引线电阻将影响线圈的电阻。为了减小引线电阻的影响,线圈的引线采用梯形,其结构如图2所示。制作在绝缘衬底上的微型线圈可等效为如图3所示的RLC电路。 图3中Reff为线圈的有效电阻,L为线圈的有效电感,C为线圈间的引线电容。考虑到导体的趋肤效应,可得到线圈的品质因数为 Q=ωLReff=2πfLReff(1)Q=ωLReff=2πfLReff(1) 式中,ω和f分别是射频信号的角频率和频率。根据公式(1),线圈的有效电阻越小,其品质因数越高;而线圈的电感越大,其品质因数也越高。因此,通过优化线圈的电阻和电感可改变线圈的品质因数,从而影响系统的信噪比。 微型线圈的电感可由环形平面电感的Wheeler 公式计算: L=14×10?7×N2c(re+ri+wc)22.14re?ri+0.57wcre=ri+Nc(wc+sc)+wc(2)L=14×10-7×Νc2(re+ri+wc)22.14re-ri+0.57wcre=ri+Νc(wc+sc)+wc(2) 式中,Nc是线圈的圈数,ri是线圈的内部直径,re是线圈的外部直径,wc是线圈的宽度,sc是线圈的间距,线圈的有效电阻Reff由公式(3)给出: Reff=ρlcSeff(3)Reff=ρlcSeff(3) 式中,ρ是线圈的材料电阻率,lc和Seff分别是线圈的长度和线圈横截面的有效面积。对于螺旋形的线圈,线圈长度lc可以表达为 lc=Ncπ(ri+re+wc)(4)lc=Νcπ(ri+re+wc)(4) MRI的工作频率约为几百兆赫兹,旋涡效应可以忽略,而高频作用下趋肤效应产生的趋肤深度为 δ=2ρ2πfμ????√(5)δ=2ρ2πfμ(5) 其中,μ是线圈材料的介电常数。 利用微加工方法制作的线圈,其横截面为矩形,则线圈的有效面积为 Seff=wchc?[wc?2δch(wc/δ)?cos(wc/δ)sh(wc/δ)+sin(wc/δ)]×[hc?2δch(hc/δ)?cos(hc/δ)sh(hc/δ)+sin(hc/δ)](6)Seff=wchc-[wc-2δch(wc/δ)-cos(w