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飞秒激光三维微细光聚合 1 飞秒激光双光子微细加工系统 飞秒激光双光加工技术是将飞秒激光集中在透明介质中。利用飞秒脉冲引起的双光吸收过程，导致材料局部光学改变，并通过控制聚焦光束的空间运动来获得三维微结构。双光子吸收几率与光强度的平方成正比,双光子引发光致聚合局限在紧密聚焦的焦点区域,将飞秒激光双光子吸收技术引入到微细加工中,使这种微细加工技术表现出了很多优良特性,特别是加工尺寸的亚微米特性和三维立体加工。 B. H. Cumpston等于1999年报道了双光子吸收截面达1250×10-50cm4·s的共轭化合物,将飞秒激光束聚焦到这类光聚合材料里,制作了悬臂支撑结构和具有光子带隙的三维微器件。2001年,S. Kawata等制作了10 μm长,7 μm高的公牛模型,是世界上最小的动物模型,还制作了直径为350 nm的弹簧振子,使飞秒激光双光子微细加工真正步入了亚微米功能器件的制造阶段。通过双光子吸收诱导光聚合技术,科学家们制备了很多复杂结构,例如驱动齿轮、弹簧、链条、维纳斯雕像和光子晶体等,实现了真正的三维加工,加工分辨率达到亚微米级。本文建立了飞秒激光三维微细加工系统;推导了横向与轴向分辨率的表达式;实现了飞秒双光子光子晶体结构的制备。 2 飞秒激光加工和显示 实验采用飞秒激光直接扫描法,图1是实验装置示意图。飞秒激光准直后从显微镜左侧入射,经过反射后被物镜聚焦到光敏树脂内;光敏树脂位于玻片表面,玻片固定在三维移动轴上;计算机发送指令给控制器,控制器驱动三维移动轴的运动,同时计算机还控制光闸的通断,实现飞秒激光有选择性加工。 钛-蓝宝石飞秒激光器输出功率为560 mW,频率为82 MHz,波长为796 nm,激光脉宽约30 fs,单脉冲能量约8 nJ。从显微镜入口到物镜,飞秒激光传输效率为0.8左右,油滴折射率为1.50。显微镜底部安装CCD摄像头,利用CCD数码摄像机可以实时监测整个双光子微细加工过程。利用该CCD配套软件IPP,可以分析加工零件的尺寸大小、形状和对比度。 实验所用的双光子吸收材料为ORMOCER材料,它是一种无机-有机混合聚合物,光引发剂的质量分数为1%,光固化的自由基临界质量分数为0.25%;其吸收波长介于350～405 nm之间,对于796 nm的红光是透明的,折射率n=1.53。 3 脉冲激光聚合反应总条件 自由基的激发状况直接影响着聚合反应的引发及增长过程,从而影响固化的特征尺寸。假定自由基的浓度按ρ=ρ(r,z,t)的规律分布,当某处的自由基浓度ρ超过了材料所要求的最小浓度ρth的时候,聚合反应就可以发生。设ρ0为光引发剂的初始浓度,自由基的浓度方程为 ?ρ?t=(ρ0-ρ)σ2(Ιhν)2,(1)?ρ?t=(ρ0?ρ)σ2(Ihν)2,(1) 其中σ2为双光子吸收截面,hν为光子能量,t为曝光时间,当t为0的时候,双光子引发的活性自由基浓度为零,对速率方程积分求解可以得到ρ ρ=ρ0{1-exp[-σ2(Ιhν)2t]},(2)ρ=ρ0{1?exp[?σ2(Ihν)2t]},(2) 忽略自由基向低浓度区的扩散和光强度波动等影响因素,计算出临界光强度为 Ιth=√(hν)2σ2tlnρ0ρ0-ρth。(3)Ith=(hν)2σ2tlnρ0ρ0?ρth??????????√。(3) 假定最大光强为I0,光聚合过程中,只有光强在I0IIth时所组成的区域,自由基的浓度才足够诱发光聚合反应,该区域形成固化单元。在焦点附近区域,如果光强达不到临界值,产生的活性自由基很快就被树脂内的其他分子猝灭。 假定飞秒激光为高斯光束,则沿r轴方向的强度分布截面为 Ι(r)=Ι0exp(-2r2w20),(4)I(r)=I0exp(?2r2w20),(4) 峰值强度Ι0=1τ×fq×2Ρπw20√4ln2π?w0为波束腰,τ为飞秒脉宽,fq为脉冲频率,P为激光功率。光强度满足I0IIth的区域才能固化,所以固化体积元的半径为 r=w02{lnσ2tΙ20(hν)2?ln[ρ0/(ρ0-ρth)]}1/2,(5) 在脉冲激光的作用下,曝光时间应该为有效曝光时间t′。t′等于飞秒脉冲数N乘以脉冲宽度τ,即t′=fq×t×τ。光束扫描的距离近似等于2w0,扫描速度为v,扫描时间为2w0/v,可近似认为是曝光时间。假定参数A=ln[ρ0/(ρ0-ρth)],它表征了材料的双光子吸收特性,因此固化直径为 d=w0{ln[σ2A?2w0v?fq×τ?Ρ2(hν)2?Ι20]}1/2,(6) 高斯光束强度沿z轴(r=0)分布为:Ι(z)=Ι01+(z/zR)2,轴向长度 l=2zR{[σ2A?2w0v?fq×τ?Ρ2(hν)2?Ι20]1/2-1}1/2。(7) 4 激光功率对波束腰展宽的影响 图2为激光功率为90 mW时,改变