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第六章 高能束流加工技术 本章节主要介绍 下内容： ■ 高能束流加工概述 ■激光束加工技术 ■ 电子束加工技术 ■ 离子束加工技术 （选讲） ■ 水射流加工技术 （自学） 南京航空航天大学机电学院052系 第一节 高能束流加工概述 ■ 高能束流加工是20世纪60年 迅速发展起来 的工艺技术，并逐步应用于科学研究和工业生 产中，尤其在难加工材料、精密微细加工、仪 器仪表零件加工、微电子器件制造、微机电系 统和航空航天零件制造中得到越来越广泛的应 用。 ■ 高能束流加工是当 具有 表性的先进制造技 术之一，是极具生命力的一种特种加工技术。 南京航空航天大学机电学院052系 高能束流加工概述(续) ■ 高能束流加工是特种加工技术 重要分支之一。通常 将激光加工 （简称LBM）、电子束加工 （简称EBM）和 离子束加工 （简称IBM）称之为高能束加工，亦称三束 加工。 ■共同之处是以具有很高能量密度 束流，通过一定 装置在空间传输并在工件表面聚焦，从而去除工件材 料或完成其它用途； ■ 不同之处在于所用 能量载体不同，分别为光子、电 子、离子和水流 （有时含磨料），因而其加工机理、 功能、效果和使用范围就有所不同。 南京航空航天大学机电学院052系 激光束加工技术发展概述1 ■Ligh Amplifica ion by S imula ed Emission of Radia ion 缩写为激光Laser。 ■20世纪50年代时，美国科学家汤斯在研究激波 时发现了微波受激放大的现象，并预言电磁波 也可以受激放大，汤斯的预言很快被证实。 ■1960年，美国休斯实验室的梅曼使用红宝石作 为工作物质，制出了世界上第一台激光器，成 功地产生了波长为0.6943微米的红外激光。 南京航空航天大学机电学院052系 激光束加工技术发展概述2 ■ 随着大功率激光器 出现，应用激光进行材料加工 激光加工技术逐渐发展起来。 ■ 从原理上讲，自然界中几乎所有材料，都能采用激光 加工。 ■ 从行业来说，激光加工涉及到汽车、电子电器、有色 金属纤维、精密机械以及运输机械等所有领域。 ■激光广泛用于打孔、切割、焊接、表面处理及半导体 加工等。 ■ 特点：不受材料限制、加工效率高、精度高等优势。 ■在机械加工中，可以同时满足效率和精度加工指标， 是其它加工方法所达不到 。 南京航空航天大学机电学院052系 激光器拆解图 南京航空航天大学机电学院052系 CMA-960F型自动送料激光切割机 ■ CM系 激光设备在全面质量管理体系的工厂环境 下进行生产作业，稳定性、精确度和速度三大指标均 可体现世界一流设备的水准。 南京航空航天大学机电学院052系 CMA-2016F型激光切割机 南京航空航天大学机电学院052系 YMRF-MV100型成衣激光雕花机 南京航空航天大学机电学院052系 电子束加工技术发展概述1 ■ 1949年，德 首次利用电子束在0.5mm厚的不锈钢板上 加工出直径为0.2mm的小孔。 ■ 1957年法 原子能委员会萨克莱核子研究中心研制成 功世界上第一台用于生产的电子束焊接机，其优良的 焊接质量引起人们广泛重视。 ■ 20世纪60年代初期已经成功地将电子束打孔、铣