单振子压电驱动微型气泵的设计与实验研究.docxVIP

单振子压电驱动微型气泵的设计与实验研究 压电泵的原理 真空泵是利用真空装置为动力源的新水流输送系统。在结构上,压电泵将传统泵的驱动源、传动系统及泵体三者合为一体,克服了由于运动部件可能导致的压力损失、磨损、疲劳破坏以及可能对某些敏感流体所造成的破坏,大大简化了泵的结构。因此同传统泵相比较,压电泵具有结构简单、体积小、重量轻、耗能低、无噪声、无电磁干扰、可根据施加的电压或频率精密控制输出流量等诸多优点。压电泵近年来发展比较迅速,其工作对象大多是液体,以气体为研究对象比较少见[1~7]。本文提出一种压电片驱动的微型气泵。 1 压电泵单振子的工作过程原理 目前压电晶片元件驱动的压电泵基本结构是1978年日本学者樽崎哲二提出来的,其结构如图1所示。日本山形大学铃木胜义教授对这种压电泵进行了实验研究。 传统压电泵的主要部件由压电振子(金属基片粘接压电陶瓷片组成)、泵体(形成有一定容积的泵腔)和两个单向阀组成(在压电振子同侧,泵腔进、出口处)。工作时通过压电振子的变形改变泵腔容积和单向阀的截止作用实现液体的连续泵出,具体的工作过程是:在交变激励信号作用下,压电振子交替产生向上、向下的弯曲变形,压电振子向下变形时,泵腔容积变大,泵腔内压强降低,在泵腔内外压差作用下,出口单向阀关闭,进口单向阀打开,流体进入泵腔内;压电振子向上变形时,泵腔容积变小,泵腔内压强增高,在泵腔内外压差作用下,进口单向阀