材料现代研究方法扫描电镜.pptVIP

形貌衬度原理 当前第30页\共有77页\编于星期三\3点 当前第31页\共有77页\编于星期三\3点 2. 背散射电子像 背散射电子是指入射电子与样品相互作用(弹性和非弹性散射)之后，再次逸出样品表面的高能电子，其能量接近于入射电子能量( E0)。背射电子的产额随样品的原子序数增大而增加，所以背散射电子信号的强度与样品的化学组成有关，即与组成样品的各元素平均原子序数有关。 当前第32页\共有77页\编于星期三\3点 背散射电子的信号强度I与原子序数Z的关系为 式中Z为原子序数，C为百分含量(Wt%)。 当前第33页\共有77页\编于星期三\3点 背散射电子像的形成，就是因为样品表面上平均原子序数Z大的部位而形成较亮的区域，产生较强的背散射电子信号；而平均原子序数较小的部位则产生较少的背散射电子，在荧光屏上或照片上就是较暗的区域，这样就形成原子序数衬度。 当前第34页\共有77页\编于星期三\3点 MoSi2-Si3N4复合材料背散射扫描电镜图42 当前第35页\共有77页\编于星期三\3点 两种图像的对比 锡铅镀层的表面图像（左）二次电子图像（右）背散射电子图像 50 82 当前第36页\共有77页\编于星期三\3点 5.6 扫描电镜试样的制备 扫描电镜的最大优点是样品制备方法简单，对导电的金属和陶瓷等块状样品，只需将它们切割成大