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电感式传感器（变磁阻）Inductive Transducer/sensor自感式传感器气隙型自感传感器螺管型自感传感器自感线圈的等效电路测量电路自感式传感器应用差动变压器结构原理与等效电路误差因素分析测量电路应用电涡流式传感器*定义：是一种利用线圈自感或互感的变化实现非电量电测的装置，是一种机电转换装置。感测量：位移、振动、压力、应变、流量、比重等。种类：根据转换原理，分自感式和互感式两种； 根据结构型式，分气隙型、面积型和螺管型。优点：①结构简单、可靠，测量力小衔铁为(0.5～200)×10-4N时，磁吸力为(1~10)×10-4N。②分辨力高机械位移：0.1μm，甚至更小；角位移：0.1角秒。输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm 。③重复性好，线性度优良在几十μm到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。不足：存在交流零位信号，不宜于高频动态测量。 *120.5lδx3(b)变截面式(a)气隙式 一、 自感式传感器 有气隙型和螺管型两种结构。（一）气隙型自感传感器组成：线圈1，衔铁3和铁芯2等。图中点划线表示磁路，磁路中空气隙总长度为lδ。传感器运动部分与衔铁相连，衔铁移动时lδ发生变化，引起磁路的磁阻Rm变化，使电芯线圈的电感值L变化；只要改变气隙厚度或气隙截面积就可以改变电感。*电感传感器的基本工作原理演示F气隙变小，电感变大，电流变小*由磁路基本知识知，线圈自感为N：线圈匝数；Rm：磁路总磁阻(铁芯与衔铁磁阻和空气隙磁阻)气隙式自感传感器，因为气隙较小(lδ为0.1～1mm)，所以，认为气隙磁场是均匀的，若忽略磁路铁损，则磁路总磁阻为 l1：铁芯磁路总长；l2：衔铁的磁路长；S：隙磁通截面积； S1：铁芯横截面积；S2：衔铁横截面积；μ1：铁芯磁导率；μ2：衔铁磁导率；μ0：真空磁导率，μ0=4π×10-7H／m； lδ：空气隙总长。*由于自感传感器的铁芯一般在非饱和状态下，其磁导率远大于空气的磁导率，因此铁芯磁阻远较气隙磁阻小，所以上式可简化为可见，自感L是气隙截面积和长度的函数，即L＝f(S,lδ)如果S保持不变，则L为lδ的单值函数，构成变隙式自感传感器；若保持lδ不变，使S随位移变化，则构成变截面式自感传感器。其特性曲线如图。L=f(lδ)为非线性关系。当lδ＝0时，L为∞，考虑导磁体的磁阻，当lδ＝0时，并不等于∞，而具有一定的数值，在lδ较小时其特性曲线如图中虚线所示。如上下移动衔铁使面积S改变，从而改变L值时,则L＝f(S)的特性曲线为一直线。 LL=f（S）L=f（lδ）*lδS（二） 螺管型自感传感器工作原理是基于线圈磁力线泄漏路径上的磁阻的变化。属于大气隙传感器，分单线圈和差动式两种结构形式。组成：螺管线圈和圆柱形铁芯。传感器工作时，通过改变磁芯在线圈中的相对位置，引起螺管线圈自感量的变化。当用恒流源激励时，假定线圈内磁场强度是均匀的，且磁芯插入线圈的长度小于线圈本身的长度，则此时线圈的输出的自感量为l螺旋管r铁心x*单线圈螺管型传感器结构图L——线圈的自感量；N——线圈的匝数； rc——磁芯半径；r——线圈的平均半径；l——螺管线圈长度；lc——磁芯插入线圈的长度；μr——铁心相对磁导率。根据传感器灵敏度的定义，可得单线圈螺管型自感传感器灵敏度或可见，在线圈和磁芯长度一定时，自感相对变化量与磁芯插入长度的相对变化量成正比，但由于线圈内磁场强度的不均匀性，实际单线圈螺管型自感传感器的输出特性并非线性。而差动螺管型自感传感器较单线圈螺管型的非线性有所改善。 *为了提高灵敏度与线性度,常采用由两个线圈组成的差动螺管式自感传感器。图(b)中H=f(x)曲线表明：为了得到较好的线性,铁芯长度取0.6l时,则铁芯工作在H曲线的拐弯处,此时H变化小。这种差动螺管式自感传感器的测量范围为(5～50)mm,非线性误差在0.5％左右。 rΔlc2lc(a)x2l线圈Ⅰ线圈ⅡINH（ ）0.8l0.60.40.2-1.2-0.8-0.4x(l)(b)0.40.81.20.20.40.60.8差动螺旋管式自感传感器(a)结构示意图(b)磁场分布曲线* 综上所述，螺管式自感传感器的特点： ①结构简单，制造装配容易； ②由于空气间隙大，磁路的磁阻高，因此灵敏度 低，但线性范围大； ③由于磁路大部分为空气，易受外部磁场干扰； ④由于磁阻高，为了达到某一自感量，需要的线 圈匝数多，因而线圈分布电容大； ⑤要求线圈框架尺寸和形状必须稳定，否则影响 其线性和稳定性。 *RcCReL（三）自感线圈的等效电路 实际传感器中包括：铜损电阻（Rc）N为线圈匝数，lcp为平均每匝长度d为线径、 ρc为导线电阻率涡流损耗电阻（Re）并联分布电容（C）由线圈绕组的分布电容及电缆引线电容组成。并联电容后，传感器的灵敏度