三维半导体存储器装置.pdfVIP

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  • 2023-09-14 发布于四川
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提供了一种三维半导体存储器装置,该三维半导体存储器装置包括:基底;第一堆叠结构和第二堆叠结构,在基底上彼此相邻;第一共源极塞,位于第一堆叠结构与第二堆叠结构之间;第二共源极塞,位于第一堆叠结构与第二堆叠结构之间;以及竖直介电结构,位于第一共源极塞与第二共源极塞之间。第一堆叠结构和第二堆叠结构中的每个可以包括交替地堆叠在基底上的多个绝缘层和多个电极。第一共源极塞可以连接到基底。第二共源极塞可以与基底分隔开。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110556384 A (43)申请公布日 2019.12.10 (21)申请号 20191

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