真空磁控镀膜设备构造课件培训.pptx

真空磁控镀膜设备构造课件培训 真空磁控溅射镀膜设备构造讲义 专注于真空镀膜技术邮箱：lyang1116@163 镀膜设备系统简述TFT系统需要实现玻璃在真空环境下自动化的连续镀膜，生产线布置为“长口”字型矩形结构，共11个腔体，24台传动电机。镀膜生产线主要划分为4个区，位于生产线左右侧的上片区和下片区，位于上下片平台间的工艺区和回传区。TFT控制系统实现对生产过程中的真空、传动、加热、冷却水、工艺气体、溅射电源在镀膜过程中的连续控制。 真空磁控溅射镀膜设备系统的组成真空磁控磁控镀膜设备真空系统加热系统工艺布气系统传动系统溅射镀膜系统冷却系统 真空系统真空系统设备集中于真空室区域，由抽气设备（机械泵、罗茨泵、分子泵）、检测设备（电阻规、电离规、薄膜规）、安全阀（腔体门阀、分子泵挡板阀、旋片泵罗茨泵间自吸阀、管道阀和破空阀）；通过旋片泵 ->罗茨泵->分子泵接力抽气，将腔室内压力由大气变为真空，并在生产过程中保持适合生产的真空环境。 真空系统腔体排气管道真空泵真空计破空阀阀门硬连接软连接旋片泵罗茨泵分子泵电阻规电离规薄膜规分子泵高阀粗抽阀门阀 旋式真空泵的工作原理 如下图为旋片泵的工作原理示意图，旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用装在定子腔内偏心转子（转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小）和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。 1-泵体；2-旋片；3-转子；4-弹簧；5-排气阀图1 旋片泵工作原理图 两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分，当转子按图示方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积不断地增大，A空间的压强不断的降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔A，此时正处于吸气过程。B腔的空间的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C空间的压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体推开排气阀，被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至大气中，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。 排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。1-高级排气阀；2-通道；3-低级排气阀图2 双级旋片式真空泵工作原理图 双级旋片式真空泵由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室是低真空级，Ⅱ室是高真空级，被抽气体由进气口进入Ⅱ室，当进入的气体压力较高时，气体经Ⅱ室压缩，压强急速增大，被压缩的气体不仅从高级排气阀排出，而且经过中壁通道，进入Ⅰ室，在Ⅰ室被压缩，从低级排气阀排出；当进入Ⅱ室的气体压力较低时，虽经Ⅱ室的压缩，也推不开高级排气阀排出，气体全部经中壁通道进入Ⅰ室，经Ⅰ室的继续压缩，由低级排气阀排出，因此双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。 罗茨泵的工作原理及其结构特点 罗茨泵抽气时两个转子由传动比为1的一对齿轮带动，作彼此反向的同步旋转运动 。转子彼此无接触，其间存在间隙。 罗茨泵具有以下特点： 在较宽的压力范围内有较大的抽速 ； 转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵腔内运动件无摩擦，不必润滑，泵腔内无油； 转子形状对称，动平衡性能良好，运转平稳，选择高精度的齿轮传动，运转时噪音低；可获得较高转速（抽速）； 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 1－前端端盖；2－油标；3－压力传感器；4－注油塞；5－放油塞；6－齿轮侧轴承端盖；7－泵体；8－入口法兰9－出口法兰；10－转子；11－马达侧轴承盖；12－中间法兰；13－油封处注油塞；14－油封处放油塞；15－笼形支架；16－电动机；17－泵底座 分子泵结构按制造结构分类 油润滑 脂润滑 磁悬浮 连续抽除气体节省能源可获得清洁的真空对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大起停机时间短振动小，噪音低操作维护方便，免维护周期长 分子泵特点 真空泵的主要参数 真空计热偶真空规皮拉尼真空规电离真空规薄膜真空规热偶规和皮拉尼规都是以气体的热导率随气体压力的变化为基础而设计的，它们是低真空时最常用的测量手段。 工作原理：在热偶真空规中，在作为热丝的Pt丝中通过恒定强度的电流。在达到热平衡以后，电流提供的加热功率与通过空间热辐射、金属丝热传导以及气体分子热传导而损失的功率相等，因而热丝的温度将随着真空度的不同而呈现有规律的变化。热偶真空