一种阴极器件.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212239589 U (45)授权公告日 2020.12.29 (21)申请号 202020416236.4 (22)申请日 2020.03.27 (73)专利权人 合肥工业大学 地址 230009 安徽省合肥市包河区屯溪路 193号 (72)发明人 张久兴　韩翠柳　鲁新　王衍　 杨新宇　潘亚飞　 (74)专利代理机构 北京山允知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 11741 代理人 胡冰 (51)Int.Cl. B23K 15/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)实用新型名称 一种阴极器件 (57)摘要 本实用新型提供一种阴极器件。所述阴极器 件可以为用于电子束焊机中的阴极器件。所述阴 极器件包括钼底座和通过作为中间连接件的钨 铼丝挤压固定在所述钼底座上的单晶六硼化镧 柱体，所述钼底座包括：载物台，其为一端被封端 的圆筒，在封端侧的外端面上形成有沿着外周侧 的凸缘，中心形成有直径大于所述单晶六硼化镧 柱体的直径的通孔；环形底座，其直径大于所述 载物台的直径；和喇叭状连接部，其连接所述载 物台的未被封端的一端和所述环形底座。 U 9 8 5 9 3 2 2 1 2 N C CN 212239589 U 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种阴极器件，其特征在于， 所述阴极器件包括钼底座和通过作为中间连接件的钨铼丝挤压固定在所述钼底座上 的单晶六硼化镧柱体，其中， 所述单晶六硼化镧柱体为在侧表面上加工形成有凹槽圈的单晶六硼化镧； 所述钼底座包括： 载物台，其为一端被封端的圆筒，在封端侧的外端面上形成有沿着外周侧的凸缘，中心 形成有直径大于所述单晶六硼化镧柱体的直径的通孔； 环形底座，其直径大于所述载物台的直径；和 喇叭状连接部，其连接所述载物台的未被封端的一端和所述环形底座； 其中，所述单晶六硼化镧柱体置于所述通孔中，并用作为中间连接件的钨铼丝分别固 定于所述凹槽圈内和在所述外端面上来使所述单晶六硼化镧柱体相对于所述载物台固定。 2.根据权利要求1所述的阴极器件，其特征在于， 所述载物台的高度大于所述单晶六硼化镧柱体的高度； 所述单晶六硼化镧柱体的直径为2～4mm。 3.根据权利要求1所述的阴极器件，其特征在于， 所述凹槽圈位于高度的10％至50％的位置处； 所述凹槽圈的截面呈半圆状或矩形。 4.根据权利要求1所述的阴极器件，其特征在于， 所述载物台的外端面中的通孔的直径为所述单晶六硼化镧柱体的1.01至1.2倍； 所述载物台的外端面的直径为所述通孔直径的2-4倍；所述载物台的高度为所述外端 面直径的1/2至1.5倍。 5.根据权利要求1所述的阴极器件，其特征在于， 所述环形底座的直径为所述载物台的外端面直径的1.5至4倍； 所述钼底座的总高度为所述载物台高度的1.2至3倍； 所述凸缘的高度为0.05～0.2mm，厚度为0.2至0.6mm； 所述载物台的侧壁和端面的厚度为0.5-1mm，所述环形底座的厚度和宽度分别为1- 3mm。 6.根据权利要求1所述的阴极器件，其特征在于， 所述喇叭状连接部连的厚度是均一的，或者是从与所述环形底座的连接处向与所述载 物台的连接处逐渐变薄； 所述钨铼丝为多根钨铼丝，所述多根钨铼丝的一端挤压固定所述单晶六硼化镧柱体， 另一端焊接固定在所述外端面上。 7.根据权利要求1所述的阴极器件，其特征在于， 所述