一种电子束焊机用聚焦系统.pdf

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115476028 A (43)申请公布日 2022.12.16 (21)申请号 202210698622.0 (22)申请日 2022.06.20 (71)申请人 河北志成束源科技有限公司 地址 065000 河北省廊坊市大厂高新技术 产业开发区工业二路北侧 (72)发明人 白凤民　王圆圆　 (74)专利代理机构 天津市鼎拓知识产权代理有 限公司 12233 专利代理师 韩亚伟 (51)Int.Cl. B23K 15/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书8页 附图2页 (54)发明名称 一种电子束焊机用聚焦系统 (57)摘要 本申请提供一种电子束焊机用聚焦系统，包 括电子枪和聚焦线圈，聚焦线圈通过聚焦驱动板 来驱动，聚焦驱动板的驱动电路包括控制调节模 块、NMOSFET组模块、直流电压源；NMOSFET组模块 具有漏极端、源极端、栅极驱动端以及过流保护 端；直流电压源的正极接在漏极端，负极接在源 极端；控制调节模块用于控制栅极驱动端的电 压；NMOSFET组模块根据栅极驱动端和漏极端之 间的电压差，在漏极端和源极端之间产生可驱动 聚焦线圈的聚焦电流；控制调节模块包括差分放 大模块、线性调节及反馈模块和零漂处理模块。 本申请提供的电子束焊机用聚焦系统具有精度 A 高、聚焦电流可调范围大的特点。 8 2 0 6 7 4 5 1 1 N C CN 115476028 A 权　利　要　求　书 1/3页 1.一种电子束焊机用聚焦系统，包括电子枪和聚焦线圈，其特征在于，所述聚焦线圈通 过聚焦驱动板来驱动，所述聚焦驱动板的驱动电路包括控制调节模块、NMOSFET组模块、直 流电压源； 所述NMOSFET组模块具有漏极端、源极端、栅极驱动端以及过流保护端；所述直流电压 源的正极连接在所述漏极端，负极连接在所述源极端；所述控制调节模块与所述栅极驱动 端相连，用于控制所述栅极驱动端的电压；所述NMOSFET组模块根据所述栅极驱动端和所述 所述漏极端之间的电压差，在所述漏极端和所述源极端之间产生可驱动所述聚焦线圈的聚 焦电流； 所述控制调节模块包括差分放大模块、线性调节及反馈模块和零漂处理模块； 所述差分放大模块配置用于接收控制信号；所述控制信号为0～10V可调直流电压信 号；所述控制信号经过所述差分放大模块后输出同比例的反向电压信号； 所述线性调节及反馈模块配置用于对引入所述NMOSFET组模块的所述栅极驱动端的电 压信号进行线性反馈调节；所述线性调节及反馈模块以所述差分放大模块输出的电压信号 作为输入信号，以所述NMOSFET组模块的所述源极端输出的电压信号作为反馈信号； 所述零漂处理模块配置用于调整电路的零漂。 2.根据权利要求1所述的电子束焊机用聚焦系统，其特征在于，所述NMOSFET组模块包 括四组并联的相同结构的NMOSFET单元；所述NMOSFET单元包括：第一电阻、第二电阻、第三 电阻、第一NMOSFET管、第一NPN型三极管、第一稳压二极管和第二稳压二极管； 所述第一NMOSFET管的栅极与所述第一电阻相连，所述第一电阻远离所述第一NMOSFET 管栅极的一端形成所述NMOSFET组模块的栅极驱动端； 所述第一稳压二极管并联在所述第一NMOSFET管的栅极和源极之间，所述第一稳压二 极管的正极端与所述第一NMOSFET管的源极相连，负极端与所述第一NMOSFET管的栅极相 连；所述第二稳压二极管和所述第三电阻串联后与所述第一稳压二极管并联，所述第二稳 压二极管的负极端与所述第一稳压二极管的负极端相连；所述第一NPN型三极管的基极与 所述第一