一种大功率宽幅电子束偏转扫描装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 206789520 U (45)授权公告日 2017.12.22 (21)申请号 201720481928.5 (22)申请日 2017.05.03 (73)专利权人 桂林实创真空数控设备有限公司 地址 541004 广西壮族自治区桂林市铁山 工业园Z-7-1号 (72)发明人 黄以平　李少林　宋宜梅　 (51)Int.Cl. H01J 37/147(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 (54)实用新型名称 大功率宽幅电子束偏转扫描装置 (57)摘要 一种大功率宽幅电子束偏转扫描装置，该装 置采用两个独立的线圈，一个用以产生电子束偏 转磁场的偏转线圈，另一个用于产生高频扫描磁 场、分别实现电子束偏转功能和扫描功能的扫描 线圈；所述的偏转线圈由偏转电源提供电源，所 述的扫描线圈由扫描电源提供电源。利用独立的 偏转线圈和扫描线圈分开的结构，解决了传统单 线圈结构难以实现30kw以上大功率300mm以上宽 幅电子束偏转扫描加工的难题，并可通过CNC系 统编程设定合成扫描轨迹及复杂工件加工，可用 于大功率电子束焊机、电子束熔炼炉、电子束三 维打印及其电子束表面处理等大功率电子束加 U 工设备。 0 2 5 9 8 7 6 0 2 N C CN 206789520 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种大功率宽幅电子束偏转扫描装置，其特征在于，该装置采用两个独立的线圈，一 个用以产生电子束偏转磁场的偏转线圈（1），另一个用于产生高频扫描磁场、分别实现电子 束偏转功能和扫描功能的扫描线圈（2）；所述的偏转线圈（1）由偏转电源（3）提供电源，所述 的扫描线圈（2）由扫描电源（4）提供电源。 2.根据权利要求1所述的大功率宽幅电子束偏转扫描装置，其特征在于，该装置包括： 用于编制数控程序的上位控制计算机（5）、下位可编程控制器PLC（6）；所述的偏转线圈（1） 包含偏转线圈铁芯（1-1）、x方向偏转线圈（1-2）以及y方向偏转线圈（1-3），所述的扫描线圈 （2）包含扫描线圈铁芯（2-1）、x方向扫描线圈（2-2）以及y方向扫描线圈（2-3）；所述的偏转 电源（3）给x方向偏转线圈（1-2）和y方向偏转线圈（1-3）供电，所述的扫描电源（4）给x方向 扫描线圈（2-2）和y方向扫描线圈（2-3）供电； 所述的上位控制计算机（5）通过通讯总线连接所述的下位可编程控制器PLC（6），所述 的下位可编程控制器PLC（6）将数字信号转换成模拟信号并将控制信号输出到所述的偏转 电源（3）和所述的扫描电源（4），所述的偏转电源（3）将偏转电流接入到所述的偏转线圈 （1），实现电子束偏转；所述的扫描电源（4）将扫描电流接入到所述的扫描线圈（2），实现电 子束扫描；所述的偏转线圈（1）和所述的扫描线圈（2）装在电子枪聚焦线圈（7）下面，所述的 偏转线圈（1）安装在所述的扫描线圈（2）上面。 3.根据权利要求1所述的大功率宽幅电子束偏转扫描装置，其特征在于，所述的偏转线 圈（1）与所述的扫描线圈（2）之间的匝数比为5:1至10:1之间。 4.根据权利要求2所述的大功率宽幅电子束偏转扫描装置，其特征在于，所述的x方向 偏转线圈（1-2）与所述的y方向偏转线圈（1-3）之间的匝数比为1：1，所述的x方向扫描线圈 （2-2）与所述的y方向扫描线圈（2-3）之间的匝数比为1：1。 5.根据权利要求1或2所述的大功率宽幅电子束偏转扫描装置，其特征在于，当电子束 进入所述的偏转线圈（1）之