一种电子束材料加工的操控设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 211102125 U (45)授权公告日 2020.07.28 (21)申请号 201922300113.4 (22)申请日 2019.12.19 (73)专利权人 桂林电子科技大学 地址 541004 广西壮族自治区桂林市七星 区金鸡路1号 (72)发明人 姚兴　崔靖凇　孙凤飞　 (74)专利代理机构 昆明合众智信知识产权事务 所 53113 代理人 张玺 (51)Int.Cl. B23K 15/00(2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (54)实用新型名称 一种电子束材料加工的操控设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种电子束材料加工的 操控设备，包括高压电缆、机体和电子枪,所述机 体的上方设置有电子枪，且电子枪的顶部设置有 高压电缆，且高压电缆的底端设置有灯丝，且灯 丝的外部设置有聚束极，并且电子枪的内底部设 置有阳极。该电子束材料加工的操控设备，整体 结构设置合理，主要设置有机体和电子枪，通过 在电子枪内安装有高压电缆、灯丝、聚束极和阳 极，在机体内的工作台上放置工件，通过灯丝射 出的电子束由上至下依次穿过第三通孔、第二通 孔和第一通孔，直射在工件的表面，进行加工处 理，同时可以通过偏转线圈进行偏转电子束，方 U 便弯曲加工，本设备整体结构设置合理，方便加 5 工处理，同时也便于观察，使用方便。 2 1 2 0 1 1 1 2 N C CN 211102125 U 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种电子束材料加工的操控设备，包括高压电缆(1)、机体(11)和电子枪(18),其特 征在于：所述机体(11)的上方设置有电子枪(18)，且电子枪(18)的顶部设置有高压电缆 (1)，并且高压电缆(1)的下端伸入到电子枪(18)内，且高压电缆(1)的底端设置有灯丝(2)， 且灯丝(2)的外部设置有聚束极(3)，并且电子枪(18)的内底部设置有阳极(4),同时电子枪 (18)的内底部中心开设有第三通孔(17)； 所述机体(11)左侧面设置有第一抽气口(12)，且机体(11)的右侧面设置有控制面板 (8)，并且机体(11)的内部的工作台上设置有工件(10)，同时机体(11)的顶部开设有第一通 孔(13)。 2.根据权利要求1所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述电子枪 (18)下部左侧设置有第二抽气口(16)，且第二抽气口(16)下方的左右两部分别设置有第二 观察镜筒(15)和第一观察镜筒(5)，并且第二观察镜筒(15)和第一观察镜筒(5)内均安装有 多组反射镜(6)。 3.根据权利要求2所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述第二观察 镜筒(15)和第一观察镜筒(5)之间设置有第二通孔(14)，且第二通孔(14)与第一通孔(13) 之间的通道内壁左右两侧均安装有电磁透镜。 4.根据权利要求1所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述第一通孔 (13)的外围设置的偏转线圈(7)，且偏转线圈(7)位于机体(11)内的工作台正上方。 5.根据权利要求1所述的一种电子束材料加工的操控设备，其特征在于：所述机体(11) 的前侧面安装有密封门，且机体(11)的左侧方安装有抽真空泵(19)，并且抽真空泵(19)的 上部设置有第一抽气管(20)，第一抽气管(20)的右管口连接在第一抽气口(12)上，同时第 一抽气管(20)的上部连接有第二抽气管(21)，且第二抽气管(21)的上管口连接在第二抽气 口(16)上，第一抽