传感器与智能检测技术 课件 4.1 气敏传感器.ppt

红外吸收式气敏传感器 基于气体的红外吸收光谱特性，非单元素的极性气体分子在中红外（2.5～25μm）波段存在着分子振动能级的基频吸收谱线，因此红外气体传感器灵敏度高，既可以用于常量分析，又可以用于微量分析；且选择性好，可以实现背景气体对测量分析基本没有影响。 声表面波式气敏传感器 声表面波（SAW）器件由压电材料、叉指换能器（IDT）和振荡电路构成，广泛地应用于通信、雷达、电子对抗、广播电视等民用和军用领域中。声表面波气敏传感器通常有延迟线和谐振器两种结构，目前国内外大多数SAW气敏传感器都是基于SAW延迟线振荡器的气敏元。 特点：精度高、分辨率高、抗干扰能力强、适合远距离传送；输出信号为振荡器频率的变化，易于与计算机接口组成自适应实时处理系统；灵敏度高，有效检测范围线性好；采用集成电路中的平面工艺制作，实现单片多功能化、集成化、智能化，减小了传感器的体积和重量，携带方便。 半导体气敏传感器的种类如表 主要物理特性 传感器举例 工作温度 典型被测气体 电阻式 表面控制型 氧化锌 室温～450℃ 可燃性气体 体控制型 氧化钛、氧化镁、氧化钴 室温～700℃ 酒精、氧气 非电阻式 表面电位 氧化银（Silver oxide） 室温 硫醇 二极管整流特性 铂/硫化镉、铂/氧化钛 室温～200℃ 氢气、一氧化碳、酒精 晶体管特性 铂栅MOS场效应晶体管 室温～150℃ 氢气、硫化氢 4.1 半导体气体传感器 气敏电阻品种繁多，主要有可测量还原性气体和测量氧气浓度的两大类。 一、还原性气体传感器 所谓还原性气体就是在化学反应中能给出电子，化学价升高的气体。还原性气体多数属于可燃性气体，例如石油蒸气、酒精蒸气、甲烷、乙烷、煤气、天然气、氢气等。 测量还原性气体的气敏电阻一般是用SnO2、ZnO或Fe2O3等金属氧化物粉料添加少量铂催化剂、激活剂及其它添加剂，按一定比例烧结而成的半导体器件。 气敏电阻外形 酒精传感器 其他可燃性气体传感器 图 MQN型气敏电阻结构及测量电路 内热式气敏器件结构及符号 1 2 3 4 SnO2烧结体 加热电极 (a)结构 4 3 2 1 (b)符号 a）气敏烧结体 b）气敏电阻外形 c）基本测量转换电路 1—引脚 2—塑料底座 3—烧结体 4—不锈钢网罩 5—加热电极 6—工作电极 7—加热回路电源 8—测量回路电源 工作电极 气敏半导体的灵敏度特性曲线 观察右图这些曲线，有何特点？可以得出哪些启示？请说明非线性特性对浓度超限报警是否有利，为什么？ 从图中可以看出，元件对不同气体的敏感程度不同，如对乙醚、乙醇、氢气等具有较高的灵敏度，而对甲烷的灵敏度较低。一般随气体的浓度增加，元件阻值明显增大，在一定范围内呈线性关系。 半导体气敏传感器灵敏度 9 8 半导体气敏传感器工作原理 图 3 N型半导体吸附气体时的器件阻值变化 Ф 图5.1.1 气敏电阻温度特性图 温度/℃ 输出电压/mV 特性参数 二、氧浓度传感器（TiO2/ZrO2) 半导体材料二氧化钛（TiO2）属于N型半导体，对氧气十分敏感。其电阻值的大小取决于周围环境的氧气浓度。当周围氧气浓度较大时，氧原子进入二氧化钛晶格，改变了半导体的电阻率，使其电阻值增大。 图 TiO2氧浓度传感器结构及测量转换电路 a）结构 b）测量转换电路 氧浓度传感器外形 可用于汽车尾气测量 汽车尾气分析 手持式 2、辅助电路 由于气敏元件自身的特性(温度系数、湿度系数、初期稳定性等)，在设计、制作应用电路时，应予以考虑。如采用温度补偿电路，减少气敏元件的温度系数引起的误差；设置延时电路，防止通电初期，因气敏元件阻值大幅度变化造成误报；使用加热器失效通知电路，防止加热器失效导致漏报现象。下图是一温度补偿电路 * 1、电源电路 一般气敏元件的工作电压不高(3V～10V)，其工作电压，特别是供给加热的电压，必须稳定。否则，将导致加热器的温度变化幅度过大，使气敏元件的工作点漂移，影响检测准确性。 当环境温度降低时，则负温度热敏电阻(R5)的阻值增大，使相应的输出电压得到补偿。 BZ ~U 气敏传感器 氖管 蜂鸣器 NTC电阻 W R1 R2 R3 R4 R5 R6 SCR 右图为正温度系数热敏电阻(R2)的延时电路。刚通电时，其电阻值也小，电流大部分经热敏电阻回到变压器，蜂鸣器(BZ)不发出报警。当通电1～2min后，阻值急剧增大，通过蜂鸣器的电流增大，电路进入正常的工作状态。 BZ 气敏传感器 PTC电阻 R2 R1 R3 R4 BCR ~U B 蜂鸣器 氖管 * 3、检测工作电路