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三角法激光测量系统的误差分析 观察点在三维点上的表现为面阵dc的成像和成像 采用传统的激光三角法测量应用有两种类型。一类是物体位置的测量,物体光斑区域基本为平面。这时平行激光束一般垂直照射到被测靶面,激光器不动,物体在光束的方向上移动,一般采用线阵CCD,如图1所示。另一类是物体表面形状的测量,一般采用平行线光源照明,以面阵CCD作为成像传感器。测量中,要么物体移动,要么光源及成像系统扫描移动,其移动方向如图2所示。当物体位置或形状发生变化,该光斑及其像点的位置都会发生变化,通过计算处理,就可以反推出该点物体位置或形状的变化量。 在图2中,每一个截面上获得的是一条曲线,曲线中每点的弯曲量就是每点的像高。依次改变截面,就可测出物体二维表面的高度分布。 上面的计算公式是在理想情况下得到的,在实际系统中,存在许多影响因素。首先是成像系统误差,二是温度、湿度等环境因素误差,三是CCD传感器、电路处理误差,四是数据处理误差,最后是被测表面和方案引入的误差。要使三角法激光测量系统得到正确的结果,必须分析和处理这几个方面的问题。 1 角法测量系统的典型光路 全面讨论时,光学系统误差应包括镜头的各种像差。在激光测量系统中,由于是单色光,所以有关色差的所有像差完全可以忽略。在这里起主要作用的是彗差、场曲、像散和畸变等轴外像差,尤其是彗差和畸变。对于大视场系统,必须对镜头提出相应的指标。本文中主要讨论物体表面位置变化时,光学系统实际放大率的变化。三角法测量系统的典型光路如图3所示。 从图4、图5可看出,在测量角为45°、视场角为18°左右时,全视场的放大率变化达12%。因此必须进行多点标定插值计算,才能得到正确的测量值。 2 钢板弯曲时,钢板像面为高 在上面的讨论中,都假设环境空气折射率均匀分布。在测量热工件场合,如热轧钢板在线检测,钢板附近的温度非均匀分布,造成附近空气折射率非均匀分布。这时光线传输将发生弯曲。在同样的光路参数下,钢板从500°变化到30°时,满量程光线弯曲引起像面上像高的变化达0.0687mm。这个变化量随钢板温度变化而变化,多点标定插值方法也难以消除,但是采用完全对称双面双光路可以有效地克服。 3 像点信号的、光斑中心位置出现毛刺、多峰或中心偏离 理想的激光斑像点应该是单个圆滑的圆点或单根线条,如图7。图中Pw是信号强度,x是沿CCD线阵方向的坐标,db是像斑点的半宽度。像点信号通过比较器得到一个二值化的正矩形脉冲,脉冲的中点就是像点的中心。但在实际测量中,点像或线像会出现许多变形,一般可以分为4类,如图8。这些变形来源于光源、物体表面粗糙度和CCD传感器。 如果激光光束光强分布不好会使像点的信号强度分布出现毛刺、多峰或中心偏离;物体表面粗糙时像点的信号强度分布出现毛刺、多峰;CCD分辨力太高或电路有干扰时像点信号强度分布出现毛刺;激光太强或物体表面对激光吸收少散射强,会使信号过度饱和;如果激光太弱,或物体表面对激光吸收太多,或为镜面反射,像点信号强度就会太小。 信号毛刺会使二值化的矩形脉冲宽度发生随机抖动,光斑中心也随着随机抖动。 多峰信号给探测光斑中心造成困难。如果用单稳态电路,可以去掉小峰抖动,但是降低了中心探测精度。 信号中心偏离时,如果光强发生变化,矩形脉冲宽度也发生变化,同时矩形脉冲的中心位置也发生变化。在图8(c)中,信号变小时,矩形脉冲的中心位置向左移。实际上这时可能物体根本没有移动。 当信号过度饱和时,CCD上像点附近很多单元都被“污染”,探测中心与实际光斑中心有较大的误差。 用硬件电路做二值化时,如果采用固定阈值或半幅度浮动阈值,上面的问题都难以较好地解决。笔者在研究和使用中发现,用波形的峰值点作像点的中心点,位置探测很准确,而且数值很稳定,在很大范围内基本不受上面这些信号波形形状的影响。 采用全数字处理也是一种很有发展前途的方法。全波形数据处理可以适应对比度很小、波形变化很大的信号,并且精度可以大大提高。 4 测量精度 从CCD获得的像点数据是不能直接使用的。首先要进行数字滤波和平滑,剔除随机大误差数据。第二步要根据标定点进行插值或查表。如果有必要,最后还要进行环境温度校正补偿。 数字滤波一般使用中值滤波方法,其依据是物体表面不会突然发生特别大的变化,表面是连续变化的。当然对于真正的物体台阶,也会有平滑作用,不可避免地引入了一定的测量误差。 对于双面对称光路系统,应该分别对每个光路进行标定。因为每个光路上各点的放大率是不同的。即使左右光路像高之差相等,由于物体两表面的位置不同,实际的物体厚度一般是不相等的。在该系统中,滤波、定点插值都要分别处理,到最后,两个面的位置之差才是物体的厚度。 如果温度变化较大,或者湿度变化较大,最好能在不同的温度和湿度条件下进行标定。在实际测量时,可以同时采集环境温度和湿度