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xrf 光谱仪原理 ｜XRF 基本原理 ｜ X 射线荧光光谱（XRF）是一种确定物质中元素的种类和含量的 表征手段，又称 X 射线次级发射光谱分析。其基本原理如图 1，在 一定的条件下，当入射 X 射线将微粒激发至高能态时，为保持整个 体系的稳定，高能态的电子会向低能态跃迁，同时辐射出被激发微 粒的特征 X 射线。而不同微粒被激发产生的特征 X 射线的能量和波 长是不同的，这是确定物质中元素种类和含量的基本依据。 1 图 1 X 射线荧光光谱原理示意图 2 图 2 常见 XRF 测试仪器 ｜XRF 基本结构 ｜ XRF 分析仪器一般由以下几个部分构成，分别是：X 射线发生 器、分光检测系统、数据分析系统。 XRF X 射线发生器 3 图 3 X 射线发生器结构示意图 XRF 分光检测器 4 图4 分光检测器结构示意图 XRF 数据分析系统 现阶段国内外 XRF 仪器的数据分析软件主要以理论分析模型为 基础，最基本的理论有以下几种： ■ 莫塞莱定律 (Moseley’s law) 反映各元素 X 射线特征光谱规