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基于s曲线算法的二极管粘片机运动控制研究 0 基于s曲线加减速运动控制的热控制策略 管道三角形是一种光、机、电相结合的设备，也是管道生产过程中的重要设备。它的性能直接影响到生产领域的性能、生产率和产品合格率。三极管粘片机的目标是实现高精度、高效率的晶圆芯片识别定位、吸片、粘片等动作。因此,一方面要求三极管粘片机在高速、高精度的工作过程中能保证系统运动平稳、冲击小;另一方面,三极管粘片机的运动控制流程工艺要求不能直接运用传统的直线/圆弧插补方法。因此,先进的三极管粘片机系统采用S曲线加减速运动控制模式,运用二分法迭代进行点位的运动控制,克服传统插补方法的缺点,实现系统性能的充分发挥和减小启停振动冲击。本文将对这种基于二分法迭代的S曲线加减速控制进行深入研究。 1 粘片机焊头运动过程 三极管粘片机主要完成框架的进料、送料、收料、晶圆芯片供送、焊头取晶和固晶等操作。影响三极管粘片机性能的重要因素是焊头高速往复运动的精密控制。焊头机构是两个自由度的运动机构,往返于取晶位置和固晶位置,往返速度一般为8 000～18 000次/h,定位精度要求50 μm,如何控制焊头机构的运动是保证高精度、高效率的关键。传统的直线或圆弧的直接插补方法难以实现粘片机快速高精度的点位运动模式的性能要求。因此,可以通过精确计算运动的时间和位移,进行时间控制和行程检测,实现点位运动的要求。 粘片机焊头的运动过程分为以下五部分(如图1所示)。①Y轴电机不动,Z轴电机启动,驱动焊头经过t1时刻从Z=0运动到Z=Z1,同时系统计算延时时间t1,并进行行程检测;②Y轴电机启动,Z轴电机保持运行;③Z轴电机停止,Y轴电机保持驱动焊头运动,系统计算从Y轴电机从启动到第三步运行结束的延时时间t2,并进行行程检测;④Y轴电机保持运行,Z轴电机以相对于此时的Y轴为开始位置运动,系统计算Z轴电机从第四步启动到完成的运行时间t3,并进行行程检测;⑤Y轴电机停止,Z轴电机经过t1时刻从Z=Z1运动到Z=0,同时系统进行行程检测。因此,三极管粘片机焊头要连续工作,必须不断完成以上运动动作的循环,同时,每一部分运动都要进行精确的时间计算和行程检测,以确保运动控制精度。同时,三极管粘片机在工作过程中,必须确保运动平稳、冲击振动小,而采用S曲线加减速控制模式能很好满足这方面要求。 2 加减速和加速度曲线 S曲线加减速的称谓是由系统在加减速阶段的速度曲线形状呈S形而得来的,采用降速与升速对称的曲线来实现升降速控制。正常情况下的S曲线加减速的加速度曲线并不是线性的。加速度的值是以梯形方式按线性变化的,如图2所示,运行过程可分为7 段:加加速段、匀加速段、减加速段、匀速段、加减速段、匀减速段和减减速段。图2中,初始速度为VL,最大速度为VH;在变加速或变减速区,│da/dt│=K,K为加加速度,是一个恒值。一般情况下电机正反向的负载驱动能力是一致的,因此可假设电机的正向和反向最大加速度相等。确定四个最基本的系统参数:系统初始速度为VL、最大速度VH、最大加速度amax、加加速度K,便可确定系统整个运行过程。通常S曲线加减速模式的速度曲线是对称的,加速和减速的时间是相等的,但通过改变设置参数可以引起S曲线产生变形,如图2、3所示。 如果已知系统初始速度为VL,最大速度VH、最大加速度amax、加加速度K,则根据位移和速度积分关系:S=∫vdt,v=∫adt可以得到位移S和总时间T。 (1) 假设加速度为梯度波，速度为均匀速度，如图所示。2示出总位移s的情况 S1=2×VL×t1+2×VH×t1+VL×t2+ VH×t2+VH×tx(1) (2) s曲线加减速控制模式 S2=2×VL×t1+2×VH×t1+VL×t2+VH×t2(2) 其中,式(1)和(2)的t1=amax/K,可通过计算S1与S2的差值判断tx是否存在, t2=(VH-VL)/(K×t1)-t1 在三极管粘片机系统中,采用S曲线加减速控制模式需要向运动控制卡设定初始速度为VL,最大速度VH、最大加速度amax、加加速度K和目标位置(即位移S)。在S曲线加减速驱动的过程中,用户可以随时修改目标位置S,但是驱动速度等其他参数在运动过程中不能修改,以免造成很大的冲击。注意,输入的初始速度为VL,最大速度VH、最大加速度amax和加加速度K均是绝对值,控制轴的运动方向由目标位置S决定。 3 分法迭代计算程序设计 在三极管粘片机系统中,通过利用二分法的迭代计算思维进行编程,可以实现判断S曲线的加速度波形是哪种情况,并可以算出焊头运动到某点的时间t。二分法的迭代计算目的是用于多阶方程的计算机求解。其基本原理是给定函数值f(x0)和用于精度(误差)控制的参数ε,取单峰函数的搜索区间[a,b]的坐标中点a1=0.5(a+b)作为计算初始点,计算目标