一种六氟化钨纯化装置.pdfVIP

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2023-10-18 发布于四川
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一种六氟化钨纯化装置.pdf

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本发明公开了一种六氟化钨纯化装置，包括筒体、热媒夹套、冷媒盘管、波纹管密封模块；筒体包括上封头、下封头以及中间的直筒段；热媒夹套设置在筒体外下半段，冷媒盘管设置在筒体内下半段，波纹管密封模块设置在筒体内上半段；波纹管密封模块包括波纹管、连接杆和转动件；上封头顶部中心设有支座，支座中心设有螺纹孔；筒体的侧壁上设有物料进口以及若干个气相出口，各气相出口垂直并联分布，每个气相出口后均连接有隔膜阀，隔膜阀后管路汇合为气相出料总管，气相出料总管分别连接气相出料支管和放空支管；筒体侧壁和上封头上均连接有压力

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116891253 A (43)申请公布日 2023.10.17 (21)申请号 202311003887.5 (22)申请日 2023.08.10 (71)申请人昊华气体有限公司地址 4710