半导体设备行业系列研究十七：真空泵，光伏为矛、半导体为盾，国产化大幕已开启(202103)-广发.pdfVIP

[Table_Summary] 核心观点：  真空泵是制造业重要的通用设备，半导体应用占据最大份额，光伏高增长。真空系统是用来获得真空环境的系 9 6 8 7 8 4 1 9 4 1 - 统，是半导体、科学仪器、化工、制药行业重要的子系统，应用广泛。真空泵是真空系统重要的组成部分，是 用来产生、改善和维持真空环境的装置。根据ISVT，2019 年全球真空设备的市场规模约350 亿元，其中半导 体用真空设备约 135 亿元，占比约38%，是最大的应用领域，此外光伏领域的真空泵需求正快速增长。  半导体行业存量真空泵的更新占据较大比例，保证需求