超精密磨削(共85张PPT).pptx

第4章 精密和超精密磨削;4.1精密和超精密磨削概述4.1.1精密和超精密磨料加工方法分类;4.1.2 精密和超精密磨削;精密和超精密磨削的精度和粗糙度;4.1.3 精密和超精密磨削的砂轮特性 （1）磨料;精密和超精密磨削的砂轮磨料;（2） 磨料粒度及选择;（3）结合剂及其选择;（4）组织和浓度及其选择;超硬磨料磨具浓度的选择;（5）硬度及其选择; （6）磨具的强度及其选择 ;（7）磨具形状和尺寸及其选择 ;普通磨料磨具的标志 ;超硬磨料磨具的标志 ;4.1.4超硬磨料磨具的结构;4.1.5 涂附磨具;涂附磨具的结构及其制造 ;4.2 普通砂轮精密磨削;4.2.1 精密磨削机理;磨粒的微刃性与等高性;精密磨削时的砂轮修整;单粒金刚石车削修整方法;无火花磨削;4.2.2采用弹性砂轮精密磨削;4.2.3 精密磨床;4.2.4 精密磨削用量;4.3 超硬磨料砂轮精密磨削;4.3.1超硬砂轮精密磨削的机理;4.3.2超硬磨料砂轮磨削特点及应用范围 ;4.3.3 超硬磨料砂轮的修整;金刚石车削修整方法;磨削法;杯型砂轮修整器结构图;游离磨料挤轧修锐法;气压喷砂法;液压喷砂法;电解修锐法;双电极电解修锐法;电火花修整法;超声波振动修整法;以免因磨粒的切削深度超过100μm时，导致转变为脆性磨削。 但超硬磨料砂轮有难度较大的修整问题。 单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的新实验方法 01μm，表面光泽如镜的磨削方法，它在加工精度的含义上不够明确，比较强调了表面粗糙度的要求。 (2) 高刚度 超精密磨削的切削力不大，但由于精度要求极高，磨床应尽量减小弹性让刀量，提高磨削系统刚度，其刚度值一般应在200N／μm以上。 2 细粒度含石墨弹性结合剂砂轮镜面磨削 超硬磨具：超硬磨料耐磨性好、比较昂贵，硬度一般较高。 金刚石微粉砂轮在磨削时，其主要机理是微切削，磨粒具有很大的负前角和较大的切削刃钝圆半径，一般前角可达γ0=-45o，切削刃钝圆半径可达rn=100μm，因此，在切削过程中有磨屑形成、耕犁(隆起)，滑擦(滑动和摩擦)等现象。 超硬磨料砂轮一般由磨料层、过渡层和基体组成。 超硬磨具：磨粒的含量用浓度表示，是指磨料层中每cm3体积中所含磨料的重量。 摩擦抛光产生的磨削热使凸出点软化，被磨钝的微刃碾平。 结合剂选择影响砂轮结合强度、自锐性、化学稳定性和修整方法等。 用金刚石砂轮磨削硬质合金时，其磨削力只有绿色碳化硅砂轮磨削时的1／4~1／5。;4.3.4 砂轮的平衡;机电式平衡系统;装有机电式动平衡系统的砂轮主轴;液体注入式平衡技术;电液平衡系统;液、汽式动平衡技术;4.3.5超硬砂轮精密磨削的磨床 ;4.4 超精密磨削 ;超精密磨削的产生;4.4.2 超精密磨削的机理;超精密磨削的机理;4.4.3 典型的超精密磨削技术;在线电解修锐(Electrolytic in-process Dressing，ELID)镜面磨削技术;ELID磨削的原理;在平面磨床上进行ELID磨削的装置;ELID磨削的特点;ELID磨削的表面粗糙度;ELID磨削的磨除率;ELID磨削的硬质合金试件;ELID磨削的陶瓷试件;ELID磨削的应用;4.4.3.2 细粒度含石墨弹性结合剂砂轮镜面磨削;镜面磨削机理;磨削结果;4.4.3.3 硬脆材料延性域磨削（Ductile-Regime Grinding）;塑性磨削机理;单晶硅片的延性域磨削机理;单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的新实验方法;单颗磨粒磨痕的扫描电镜SEM照片;单颗金刚石磨粒磨削单晶硅的实验结果;而砂轮也不会过快消耗，能充分发挥超硬磨料的磨削能力 ,对硬脆材料实现高精度、高效率的超精密镜面磨削。 因此，在超精密磨削时，一般多采用人造金刚石、立方氮化硼等超硬磨料砂轮。 将碳化硅、刚玉磨粒从高速喷嘴喷射到转动的砂轮表面上，去除结合剂，使磨粒突出。 ? — 压头与磨粒锥顶半角 整形后利用高强纤维清扫器修锐。 用金刚石砂轮磨削硬质合金时，其磨削力只有绿色碳化硅砂轮磨削时的1／4~1／5。 一般喷嘴安装角α≤10° 单粒金刚石车削修整方法 延性域磨削划痕的三维形貌 ξ— 压头几何因子，维氏压头，ξ= 2 适用于各种金属结合剂砂轮，也可用于加入石墨的树脂、陶瓷结合剂砂轮； 金刚石微粉砂轮磨削主要是基于微切削作用的微量去除来达到低表面粗糙度值，是一种采用固结微粉磨料进行精密加工的新方法。 日本理化学研究所对部分材料进行ELID磨削的表面粗糙度。 用粗粒度砂轮(60# -80#)精细修整后进行精密磨削时，光磨次数视加工表面粗糙度的要求不同可取5~10次单行程； 磨床从类别上分为M(外圆磨床、内圆磨床、平面磨床等)、2M(超精机、珩磨机、抛光机、砂带抛光及磨削机床、研磨机等)、3M(轴承、滚子、钢球、气门等磨削机床)3个分类。 在平面磨床上进