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- 2023-11-04 发布于四川
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本发明属于薄膜晶体管技术领域，具体涉及一种氧化物纳米纤维及其制备方法、一种双极性薄膜晶体管及其制备方法。本发明提供了一种氧化物纳米纤维，包括纤维芯和依次包覆在所述纤维芯外表面的第一包覆层和第二包覆层；所述纤维芯包括P型半导体材料；所述第一包覆层包括氧化铝；所述第二包覆层包括N型半导体材料。将本发明提供的氧化物纳米纤维作为有源层的制备材料应用于双极性薄膜晶体管中，能够构建有源层和绝缘层的三维界面结构，提升晶体管的栅控能力；同时通过调整纳米氧化物纤维的定向分布，实现双极性载流子传输，提升晶体管的载流
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115537971 A
(43)申请公布日 2022.12.30
(21)申请号 202211162168.3
(22)申请日 2022.09.23
(71)申请人 上海应用技术大学
地址 20141
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