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半导体元件的探针设备.pdfVIP

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  • 2023-11-15 发布于四川
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半导体元件的探针设备.pdf

    本公开提供一种探针设备。该探针设备包括一平台；一机械手臂，设置在该平台上并具有一探针；以及一测试装置，设置在该平台上。该测试装置包括一插槽，具有容纳一待测元件的一腔室；以及一盖体，设置在该插槽上。该插槽包含一导热材料。该盖体包括一盘体；一电路板，贴附到该盘体；以及一开口，穿过该盘体与该电路板，以暴露该插槽的该腔室。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117054699 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202310237685.0 (22)申请日 2023.03.13 (30)优先权数据 17/742,546 2022

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