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基于vc++60的镀膜机自动控制系统 0 光学薄膜的工艺研究 光学薄膜不仅广泛应用于传统的光学精确测量和测试领域，也广泛应用于宇宙技术、导致技术、激光技术和模仿技术等高科技领域。例如，计算机的计算机分辨率、crt屏幕、多通道光纤维通信中的消位移决定性滤波器、光谱系统中的波前恢复装置以及用窄带过滤光的装置。光学薄膜的生产是一个重要的行业。为了获得满足各项性能指标的高质量滤光片,除了采用优越的膜系设计方法进行膜系设计之外,还必须采用复杂精密的制膜工艺控制系统,包括对膜层的生长方法、膜层厚度的精确控制、镀膜过程的实时监控及后继工艺等,方能得到理想的结果。 目前以瑞士和美国为代表的光学镀膜机是一个集成了系列智能化模块(子系统)的全自动系统,但进口价格昂贵且受到技术封锁,国产的镀膜机,包括北仪、南光的镀膜机主要依靠人工操作,自动化程度低,很难满足制造高性能光学薄膜的要求,所以有必要对国产设备进行研究改进。本文作者所在的实验室有一台2000年购入的北京光学仪器厂生产的镀膜系统,下面就以该系统研究改进过程进行分析和讨论。 1 光学膜系统的原理和系统的组成 1.1 薄膜反射率的测试 目前对光学薄膜的控制主要采用光电极值法和宽光谱扫描法,本实验室的镀膜监控系统采用光电极值法,下面简单介绍相关理论。 对于单层膜,设其折射率为n1,厚度为d1,入射介质的折射率为n0,基底材料的折射率为ns,根据波动光