单晶铜微纳加工及力学性能多尺度仿真研究.docxVIP

摘 要 PAGE V 摘 要 PAGE II 单晶铜微纳加工及力学性能多尺度仿真研究 摘 要 随着超精密加工、微电子等领域的不断发展，对于微纳材料加工时的微观机理以及加工后的力学性能的模拟研究也越来越多。当材料进入微纳尺度时，加工过程是以离散的数个原子或原子层去除，所产生的特性与宏观尺度不再相同。在模拟仿真研究中，传统的机械设计理论采用的是连续介质力学方法，也称有限元(Finite element，FE)法，其可有效模拟连续介质力学问题，但缺少原子级的自由度，存在一定的局限性。虽然分子动力学(Molecular dynamics，MD)法可以模拟原子尺度的行为，但是其计算量比较大。