西大催化剂表征扫描电子显微镜详解演示文稿.pptVIP

**西大催化剂表征扫描电子显微镜详解演示文稿本文档共35页；当前第1页；编辑于星期一\3点32分（优选）西大催化剂表征扫描电子显微镜本文档共35页；当前第2页；编辑于星期一\3点32分续纳米材料常用的形貌分析方法主要有：1.扫描电子显微镜（SEM）2.透射电子显微镜（TEM）3.扫描隧道显微镜（STM）4.原子力显微镜（AFM）本文档共35页；当前第3页；编辑于星期一\3点32分四种方法的特点：1.扫描电镜SEM和透射电镜TEM形貌分析不仅可以分析纳米粉体材料，还可以分析块体材料的形貌。2.扫描电镜SEM可以提供从纳米到毫米范围内的形貌图像。3.透射电镜TEM比较适合纳米粉体样品的形貌分析，但颗粒大小应小于300nm，否则电子束不能穿透。若需对块体样品分析，需对样品做减薄处理。4.对于更小的颗粒，只能用扫描隧道显微镜STM和原子力显微镜AFM进行分析。本文档共35页；当前第4页；编辑于星期一\3点32分续5.利用透射电镜的电子衍射能够较准确地分析纳米材料的晶体结构，因此许多纳米材料的研究，都采用TEM作为表征手段之一。6.扫描隧道显微镜STM主要针对一些特殊导电固体样品的形貌分析，可以达到原子量级的分辨率，仅适合具有导电性的薄膜材料的形貌分析和表面原子结构分布分析，对纳米粉体材料不能分析。7.原子力显微镜AFM可以对纳米薄膜进行形貌分析，虽比扫描隧道显微镜差，但适合导体和非导体样品，不适合纳米粉体的形貌分析。本文档共35页；当前第5页；编辑于星期一\3点32分§1.SEM基本原理扫描电子显微镜（ScanningElectronMicroscope）于20世纪30年代问世，是用于观察样品表面微区形貌和结构的一种大型精密电子光学仪器。SEM的工作原理是利用一束极细的聚焦电子束扫描样品表面，激发出某些与样品表面结构有关的物理信号（如二次电子、背散射电子）来调制一个同步扫描的显像管在相应位置的亮度面成像。日立公司S-4800型高分辨场发射扫描电镜本文档共35页；当前第6页；编辑于星期一\3点32分电子束与固体样品作用时产生的信号图为样品在电子束轰击下可能产生的各种信号。其中，二次电子和背散射电子信号是与扫描电镜成像的主要信号；特征X射线则是与扫描电镜相结合的电子探针进行成分分析时的采集信号。本文档共35页；当前第7页；编辑于星期一\3点32分续定义能量/eV作用深度/nm特点二次电子被入射电子束轰击出来的固体中原子的核外电子505-10对样品的表面形成很敏感，能有效显示样品的表层形貌背散射电子被固体样品中的原子核反弹回来的部分入射电子10-20k～100对样品表面形貌不敏感，形貌分析成像分辨力较二次电子低特征X射线由原子内层轨道上电子的跃迁而产生1-15k1000可用来判断微区中存在的相应元素本文档共35页；当前第8页；编辑于星期一\3点32分扫描电镜的成像原理SEM是在阴极射线管（CRT）荧光屏上扫描成像，与电视技术类似，不同于一般光学显微镜和透射电镜。其成像信号来自于样品上相应点收集到的电子信号，样品不同区域发射电子信号的能力与它反射光线的能力没有关系。本文档共35页；当前第9页；编辑于星期一\3点32分续SEM成像形成衬度原理：所谓图像衬度是指图像各部分的强度相对于其平均强度的变化。当电子束在样品上逐行扫描时，随着样品微区特征（如形貌、原子序数、晶体结构或位相）的不同，电子束的作用下产生的各种物理信号的强度也不同，导致荧屏上不同区域的亮度不同，从而获得具有一定衬度的图像。本文档共35页；当前第10页；编辑于星期一\3点32分扫描电镜的性能指标

主要性能指标包括：分辨率、放大倍数和景深分辨率（r）---指图像上可以分辨的两个特征物（颗粒或区域）之间的最小距离。其测定方法是在一定放大倍数下（通常钨灯丝扫描电镜为10万倍），测得图像上可清楚分辨的两个Au颗粒之间的最小间距s，除以放大倍数M，即r=s/M。分辨率大小由入射电子束直径和调节信号类型共同决定。电子束直径越小，分辨率越高。本文档共35页；当前第11页；编辑于星期一\3点32分分辨率钨灯丝扫描电镜分辨率图12利用碳蒸金标样在日本JEOL公司生产的JSM-6363LV型扫描电镜上测得的二次电子（图1）和背散射电子（图2）分辨率照片。二次电子图像分辨率为3.0nm，背射散电子图像分辨率为4.0nm。本文档共35页；当前第12页；编辑于星期一\3点32分续放大倍数（M）---指电子束在显像管上扫描幅度Ac与试样上扫描幅度As之比（Ac/As）。目前，大多数钨灯丝扫描电镜的