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传感器工艺制作

基于磁控溅射工艺的pt膜温度传感器设计

学校：

哈尔滨理工大学

专业：

测控技术与仪器

姓名：

王琳

学号：

0905010703

指导老师：

冯侨华

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、铂膜温度传感器1

1.工作原理1

2.技术指标2

3.热响应时间2

4.铂电阻绝缘电阻2

5.铂电阻允许通过电流2

6.铂电阻温度传感器的分类2

二、薄膜温度传感器的开展及应用3

三、材料及结构5

四、铂薄膜温度传感器工作原理6

1.二线式测量7

2.四线式测量7

五、工艺及工艺参数对薄膜特性的影响8

1.工作压力对薄膜电阻的影响10

2.靶功率对薄膜电阻的影响11

3.靶基距对薄膜电阻的影响11

4.退火对样片电阻的影响12

六、设计小结13

参考文献13

铂膜温度传感器

铂膜温度传感器具有精度高，稳定性好，可靠性强，产品寿命长等优点，适用于工业自动化测量和各种实验仪器仪表。

工作原理

铂膜温度传感器是利用金属铂在温度变化时自身电阻值也随之改变的特性来测量温度的，显示仪表将会指示出铂膜的电阻值所对应的温度值。当被测介质中存在温度梯度时，所测的温度为感温元件所在范围内介质层中平均温度。

技术指标

铂膜温度传感器的技术指标见表1。

表1铂电阻的技术指标

热响应时间

在温度出现阶跃变化时，铂电阻的输出变化至量程变化50%所需要的时间成为热响应时间，用τ0.5表示。

铂电阻绝缘电阻

常温绝缘电阻的试验电压可取直流10～100V任意值，环境温度在15～35℃范围内，相对湿度应不大于80%，常温绝缘电阻值应大于100M。

铂电阻允许通过电流

通过铂电阻的测量电流最大不应超过1mA。

铂电阻温度传感器的分类

铂电阻温度传感器可分为：铂电阻温度传感器(I)和铂电阻温度传感器(II)，其中铂电阻温度传感器(I)为行业专用型温度传感器，铂电阻温度传感(II)为通用型温度传感器。

铂电阻温度传感器(II)为又分为装配式铂电阻和铠装铂电阻两种。

(1)装配式热电阻：装配式铂电阻是由感温元件、不锈钢外保护管、接线盒以及各种用途的固定装置组成，有双支和单支元件两种规格，双支铂电阻可以同时输出两种相同的电阻信号供使用，安装固定装置有固定螺纹、活动法兰盘、固定安装法兰盘和带固定螺栓锥形保护管装置等形式。

(2)铠装热电阻：铠装铂电阻外保护套管采用不锈钢，内充高密度氧化物绝缘体，具有很强的抗污染性能和优良的机械强度，铠装铂电阻比装配式铂电阻直径小、易弯曲、抗震性好、热响应快、使用寿命长等优点，适宜安装在装配式铂电阻无法安装的场合。

薄膜温度传感器的开展及应用

目前，国际上新型温度传感器正从模拟式想数字式、集成化向智能化及网络化的方向开展。

温度传感器按传感器与被测介质的接触方式可分为两大类：一类是接触式温度传感器，一类是非接触式温度传感器。接触式温度传感器的测温元件与被测对象要有良好的热接触，通过热传导及对流原理到达热平衡。这种测温方法精度比拟高，并可测量物体内部的温度分布。但对于运动的、热容量比拟小的及对感温元件有腐蚀作用的对象，这种方法将会产生很大的误差。

非接触测温的测温元件与被测对象互不接触。常用的是辐射热交换原理。此种测稳方法的主要特点是可测量运动状态的小目标及热容量小或变化迅速的对象，也可测量温度场的温度分布，但受环境的影响比拟大

21世纪后，智能温度传感器正朝着高精度、多功能、总线标准化、高可靠性及平安性、开发虚拟传感器和网络传感器、研制单片测温系统等高科技的方向迅速开展

在日常生活中，温度传感器有着广泛的应用。随着生活品质的提高，人们乐意去享受生活。温度传感器也带给给人们一种不同的生活体验。现在卫生间根本上都做在室内，有的甚至是在房间里，但是为防止不必要的浪费现在的卫生间一般都非常小，一般就几平米。所有透气效果很不好，虽然大局部卫生间都有排风扇，但是现在主要还是依赖人工操作，如何自动开关排风扇以及如何自动调节卫生间内的温湿度呢?这就需要利用到传感器。温湿度传感器将是人们感知室内温度变化的重要帮手。

如果在卫生间里安装气体传感器和温湿度传感器就能解决上述所说的问题。将气体传感器和湿度传感器与排风扇相连，当卫生间内气体浓度和湿度浓度大于一定值的时候就自动的翻开排风扇，从而降低卫生间内的异味气体浓度和湿度，当降低到一定的时候，气体传感器和湿度传感器就能给排风扇一个信号，从而自动关闭排风扇。这样就能确保卫生间内的气体浓度和湿度保持在一个合理的范围内。

同样的道理利用温度传感器还能调节卫生间内的温度，尤其是在洗澡的时候，能自动调节卫生间内的温度是很有必要的。通过温湿度传感器和气体传感器就能很好的控制卫生间内的环境从而使我们能够拥有一个舒适的生活。现在大局部旅馆和一些公共场所都实现