非晶合金薄膜简介.docx

非晶合金薄膜研究背景简介

1.1非晶合金

非晶合金(或称金属玻璃)是一种显著区别于传统金属材料的新型合金，其在极快的冷却速度下(107K/S)形成，原子在快速凝固时来不及形核、长大形成晶体，微观结构上呈现为长程无序、短程有序的特征，因此没有晶界和位错等晶体材料的常见缺陷。与传统的合金材料相比，具有诸多优异的性能，如高强度、高硬度、耐磨损及耐腐蚀，主要缺点是非晶形成能力限制(冷却速度)，三维尺寸不易做大，以及室温下塑性较低，一定程度上影响了其作为结构材料的工程实际应用。

晶体原子排列长程有序 非晶原子排列长程无序

1.2非晶合金薄膜

非晶合金薄膜(Amorphousalloythinfilm)，也称为金属玻璃薄膜(thinfilmmetallicglasses)，作为一种二维形态的非晶合金，继承了非晶合金的诸多性能优势，同时尺寸不易受非晶形成能力的影响，可以制备较大面积的薄膜。同样的，非晶合金薄膜由于在结构上呈现各向同性，没有晶界和位错等晶体缺陷，在过冷液相区具有超塑性，从而具有良好的弯曲延展成形能力，并且薄膜表面较为光滑，粗糙度较小，可以达到10nm以内。非晶合金薄膜在MEMS/NEMS有着良好的应用前景。

1.3样品制备

我们选取的研究对象是具有稳定非晶形成能力的简单二元非晶合金系Cu50Zr50，靶材为圆饼状，尺寸为＜/50mmx3mm。采用