无尘室内异物管理基本原则.pptxVIP

无尘室内异物管理基本原则无尘室内异物管理基本原则第1页無塵環境等級與異物數量之關聯性CLASS0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5.0μm1357.53110350753010100300100100010007100001000070100000100000700英制單位：為每立方英呎0.5μm以上粒子數SI制單位：為每立方公尺0.5μm以上粒子數取其對數CLASS100相當於SI制M3.5无尘室内异物管理基本原则第2页無塵環境設計與施工概念層流式無塵環境層流是指空氣由上方天花板完全吹出再由高架地板回風，氣流由上而下，無塵室內沒有死角，能將塵埃在最短時間帶走亂流式無塵環境由局部出風口吹入潔淨之空氣，再由回風管(柱)或回風牆回風无尘室内异物管理基本原则第3页無塵環境設計與施工概念垂直層流式無塵環境无尘室内异物管理基本原则第4页無塵環境設計與施工概念水平層流式無塵環境无尘室内异物管理基本原则第5页無塵環境設計與施工概念層流式無塵環境優缺點優點：效果完全若在作業狀況中影響較小，運轉後快速可達到所需之落塵控制量，管理轻易缺點：設備費用高(維護費用高)換過濾網校麻煩適用於Class1,10,100无尘室内异物管理基本原则第6页無塵環境設計與施工概念亂流式無塵環境无尘室内异物管理基本原则第7页無塵環境設計與施工概念亂流式無塵環境優缺點優點：設備費用低，維護