课件级材料七章.pdf

本章内容

前言

第1节电子与物质的交互作用

第2节扫描电镜工作原理、构造和性能

第3节扫描电镜在材料研究中的应用

第4节电子探针分析方法及微区成分分析技术

本章重点与难点

重点：

扫描电子显微镜的结构和工作原理、扫描电子显

微镜的主要性能。

波谱仪和能谱仪的仪器结构和工作原理。

难点：

电子探针分析方法及微区成分分析。

前言

❖扫描电子显微镜（ScanningElectron

Microscope，简称SEM）是继透射电镜（TEM）

发展起来的一种电子显微镜。

❖扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射

电子显微镜不同，它是以作为照明源，把

聚焦得很细的以光栅状扫描方式照射到

试样上，产生各种与试样性质有关的信息，然

后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。

前言

❖1925年德国物理学家德布罗意提出物质微观

粒子的波动论后，用电子聚焦成像的学科—

电子光学便得到迅速发展。

❖1932年德国的克诺尔（M.Knoll）、鲁斯卡

（E.Ruska）、吕赫和约汉森在电子显微镜

研制上最先获得成功。

前言

❖1935年克（Knoll）提出了扫描电子显

微镜的工作原理，并试制出简单型的SEM，

但分辨率仅有100微米。

❖1938年冯.阿登纳（Von.Ardenne）进行研

究，制造出“真正”的SEM。

❖直径聚焦缩小到0.01微米。这台仪器原理虽然正确，

但由于调试，记录时间长，分辨本领低，而以失败告

终。

前言

❖1942年兹维礼金（Zworykin）、希利尔

（Hillier）、斯奈德（Snyder）研制出分辨

率为50nm的SEM。40年代，和的

科学家在SEM研制方面也取得很大进展。

❖在1953年大学的麦克马伦（Mcmullan）

制成新的SEM，后经史密斯（K.C.A.Smith）

改进，于1958年为制造出1台高质量的

SEM。自此以后，SEM才成为一种有用的研

究工具。

前言

❖历经30多年岁月，第一批商品化的SEM于

1965年在英国仪器公司诞生，当时分

辨率为25nm，使SEM的研发达到。

前言

❖在最近20多年的时间内，扫描电子显微镜发

展迅速，又综合了X射线分光谱仪、电子探

针以及其它许多技术而发展成为分析型的扫

描电子显微镜，仪器结构不断改进，分析精

度不断提高，应用功能不断扩大，越来越成

为众多研究领域不可缺少的工具，目前已广

泛应用于冶金矿产、生物医学、材料科学、

物理和化学等领域。

前言

❖进入，世界上著名的SEM制造厂家，

生产出的SEM全部由微型计算机控制，实现

了全自动化。同时，为了适应含水生物样

品、不导电样品的检测，又推出了环境扫

描（ESEM）或可变的高低真空SEM，与

常规