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无阀微泵及其研究进展

早在1988年护 荷兰叮nLintel等提出了利用沁膜的往复运动驱动流体的敝机城泵[B]凸在以后的研究中，与此原理类似的机桢泵相继被提出，这些敝泵通

常都有一个泵膜和两个被动的止回悯组成。闸1-1为不同的微机桢泵中敝悯的结构阳］凸

if粒于的敏感性是止回悯的天生的缺陷凸由 于阀片的频紧开关使得泵的响应速度变1苞 下作频率降低，同时可动悯片材抖的疲劳忙失 效和性能不稳定都

会影咱微泵的寿命，阎片还受到加7T一艺和加［－

准确度的限制，不利于微型化

的发展趋势。它的性能受液体包含的气泡伯影响，而且启动注水过程过千困难，不适千商业应用凸止回阀的缺陷限制了敝泵的发展，而无阀敞泵具有更广周的友展空间已

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图1-1 微阀的各种结构图

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ti)1-2 扩散山喷嘴无阅微泵的1作拟理图

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无间敝泵的叽究T一作开始于90年代初期.1992年．的1开的比chter等人首次提出在微泵设计中采用无悯结构的设想[l习t 1993 年，瑞典的E.Stenuued等人

成功地采用扩散□I喷嗤结构制作了无悯微泵围］，如用1-2所示P 该敝泵的尺寸

仅有几皿米．扩散口1喷嘴的形状为锥形胪 可用来输送液体和气体凸 将扩散口／

哄咄结构应用于敝泵．是跨越性的妏展．具有霾要的忠义．众多研究人员—.E..

对其流体动力学行为和整流性质进行若深入的研究[l为叭

1995 年胪 T. Gerlach 等人制作出了更小的无阀叔泵但还］7（nunX7m1uX

1mm)凸 由于倾角较大，扩散口／喷喷的半角为35.26心 ，微泵以喷嘴的方向为流动的正方1叶 与小角度的扩散□I喷嘴敝泵的流动方向正好相反凸Geilach 第

—个提出了扩散D/11负嘴结构的功能分析凸如 闭 1-3所示P3]，他们在{100) 硅

片上用各向异性方法腐蚀出锥形的扩散□I喷咄结构D

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图1-3 采川各向异性方法加。1出来的无闵衮结构图

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1996 年E.Stem1-ue等人采用电辟校型对微泵的下作悄况进行了校拟．并对无悯敝泵的结构进行了初步优化设计．如图1-4所示P?］．他们在同—块芯片上

刻蚀出两个平行排列的反相：7

作独立泵．可以减少液压冲市．获得较为秪定的

压力和流址．这使行无阀敕泵的－［作特性得到很大的改养。

二

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陌1-4 改进的扩散口l喷阱无阅侬泵

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1998年A.Ulhniiln等人将无悯敝泵基木单元以串、井联等组合的方式制作在同一芯片上．以此来捉万无阀敞泵的流血和泵床．如附1-5p罔．井讨论了各种结构的优劣凸瑞业的A.Olss口n等人采用热塑性复制的方法制作无悯敝泵匮］，该一法降低了无悯敝泵的制作成木．有利于无悯敝泵的批显生产.,,A.Dlss口n

E1ikStemme. G叩nStem1ue等人对无阀敝泵进行了—系列的研究P功－31]..

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阳1-5 微疫的各种结构

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次报迫了可以自启动...沁I气泡敏感性小且可以双向

输送液体的做泵P气 这是出于将泵腔设计得较小，增大了敝泵的冲程体积

(s.tro.kevolume)与死体积(deadvolume) 之比（l/9.）凸

扩 散□／喷嘴无悯敝泵旧结构，是节前无阀做泵研究的热点，受到人们的注．十年来取得了银大的进展凸 为 了增加泵的流盆，在改变泵的结构方面人们提出了各种方法．包括将多个泵串井联，