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2024-01-20 发布于四川
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本发明提供设置用于检验样品的关注区域(CA)的方法及系统。一个系统包含经配置用于产生样品图像的成像子系统及经配置用于确定在所述样品上形成的重复图案化区域中产生的图像中的一或多者内的预定义单元中检测到的缺陷数量的计算机子系统。所述计算机子系统还经配置用于将所述预定义单元中的两者或更多者中的每一者中检测到的缺陷数量与预定阈值进行比较，且将其中缺陷数量大于预定阈值的所述预定义单元中的两者或更多者中的任何一或多者指定为一或多个CA。此外，所述计算机子系统经配置用于存储所述一或多个CA的信息，以用于检验所

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117425819A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202280039913.7(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限

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