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本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种MEMS三轴陀螺仪，包括驱动固定弹性件、驱动锚点、多个驱动质量块、多个驱动耦合弹性件、梳齿驱动电极、多个耦合组件、多个连接框组件、中心锚点及多个梳齿驱动检测电极，该MEMS三轴陀螺仪在驱动状态下能够驱动质量块沿第一方向或者第二方向运动，还能够分别检测沿第一方向、第二方向及第三方向的角速度。本发明公开的MEMS三轴陀螺仪，灵敏度更高、体积更小，适用性更广。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117516501A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311710374.8
(22)申请日2023.12.13
(71)申请人成都博纳神梭科技发展有限公司
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