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一种模板夹持机构及气压式纳米压印设备.pdfVIP

一种模板夹持机构及气压式纳米压印设备.pdf

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    本发明公开了一种模板夹持机构及气压式纳米压印设备，包括模板夹持机构、底座，所述底座上设有下腔体和上腔体，所述下腔体与上腔体之间密封连接有所述模板夹持机构，所述模板夹持机构内连接有PET薄膜，所述上腔体与下腔体之间设有真空腔，所述PET薄膜分割所述真空腔，所述PET薄膜朝向所述上腔体一侧为上腔室、朝向所述下腔体一侧为下腔室，所述上腔室、下腔室之间通过压力差对PET薄膜进行固定；所述底座上设有伸缩杆，所述伸缩杆的伸缩端连接有真空吸盘，所述真空吸盘与所述下腔体密封连接，所述真空吸盘朝向所述模板夹持机构

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117539122A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202311643898.X

    (22)申请日2023.12.04

    (71)申请人璞璘科技（杭州）有限公司

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