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山东建筑大学毕业论文开题报告表

班级：光信062姓名：金雪

论文题目薄膜光波导制备及检测

一、选题背景和意义

集成光学是上世纪60年月以来进展起来的-兴科学，主要争论光波在透亮薄

材料中的传导、调制、偏转、滤波、空间辐射、光振荡、薄膜内强场聚拢引起的各

种现象以及与此有关的薄膜非线性效应等。集成光学的争论内容格外丰富，但是其

根本的根底是光在薄膜中的传播，即光波导。对光信号的全部处理，都必需以光在

薄膜中的能够传导为前提。光波导在整个集成光学中具有格外重要的作用。

经典的光波导理论主要有两种，一种是线光学理论，这一理论以光的全反射原

理为根底，即光在波导中传播时受到上下界面的全反射。光波在波导内沿z字形路径

传播。据此推导出介质薄膜波导的色散方程，争论波导膜的传输性质、截止特性、

传播常数等性质。这种方法简洁、直观。另一种方法是电磁波理论，这一理论从

Maxwell电磁波方程动身，通过求解满足肯定介质边界条件的Maxwell方程，得到波

导中传导模的本征解。

全部光波导的试验根底在于光波导薄膜及波导构造的制备。改进试验方法，优

化试验条件是提高光波导薄膜质量的关键。脉冲激光沉积法是上世纪80年月后期进

展起来的一种的制膜方法。该方法有很多引人注目的优点。如：易于使膜与靶材的

成分根本全都、生长过程中能够原位引入的气体种类较多、简洁制备多层膜或异质

结、工艺简洁、易于掌握、敏捷性大等，所以，在制备各种薄膜，特别是氧化物薄

膜方面具有独特的优势。

集成光路早期的根本设想首先是把光波约束在有限空间的薄膜光波导内传播；利用

薄膜光波导可以构成包括光源探测器、调制器、分束器、透镜和反射镜等一系列有

源和无源薄膜光波导器件；承受类似集成电路的微加工技术，将这些薄膜光波导器

件集成在同一基板上，从而构成具有特定功能的光路系统。这种集成光学系统与传

统的光学器件系统相比，具有体积小、质量轻、结实紧凑、无须人工对准适宜平面

工艺大批量生产和降低本钱等优点。

薄膜光波导最早的争论则可追溯到1910年，由Hondros和Debye关于电介质棒的

争论工作。后来的争论主要针对微波工程应用的介质薄膜光波导，直到激光问世，

才真正开头了薄膜光波导的争论。在60年月中对波导理论、薄膜光波导的测量、薄

膜光波导耦合方法进展了比较全面和深入的争论。在70年月开发出各种薄膜光波导

器件，当时争论的薄膜光波导材料和器件比较集中于玻璃和晶体等电介质材料。由

于这些材料不能构成激光器和探测器，因而开发的集成光学系统以混合集成为主。

进入80年月，更多转向半导体薄膜光波导器件的争论，特别是对激光器集成化的争

论，并将光电子集成和光子集成提上日程。进入90年月，为了满足实际应用的要求，

光集成系统在原来的二维薄膜波导构造的根底上进一步向三维构造以及一维全光纤

构造进展，并进一步演化为光电机综合系统。

二、课题关键问题及难点

薄膜光波导器件和技术日益成熟，但他也有其自身的缺陷：如制作亚波长直径

的低损耗光波、制备方法的选择、光波导检测方法和技术、激光加热的能量对拉伸

光纤直径均匀性很差、传输损耗大等光学性能的争论还有待提高。

微电子学、光电子学和光子学是现代光通信和光传感产业的支柱。随着器件设

计理论和制备工艺的进展，以及对器件工作性能和能量消耗等要求的提高，减小器

件尺寸、提高集成度，将光子器件与微电子、光电子器件在纳米尺度上混合集成已

成为必定趋势，这就要求光波导线宽向亚波长和纳米尺寸进展。在过去的30年间，

宽度或直径从毫米量级到微米量级的介质光波导已经在很多领域得到成功应用，例

如，光通信、光传感、光功率传播系统等。波导宽度微型化使光子器件应用从中受

益，但是由于对高精度的要求，故制作亚波长直径的低损耗光波导仍旧是种挑战。

20世纪以后，争论者才开头了对通过激光加热融解拉伸高纯度玻璃纤维制成

的氧化硅线的光学应用的争论。当光纤直径大于1m时，这些氧化硅光纤是支持可见

光及红外光传输的多模波导，而亚微米光纤则可以支持单模传输。由于理论及试验

的结果说明激光加热的能量对拉伸光纤并保证直径的均匀性来说太大了，因此拉出

的光纤直径均匀性很差，传输损耗大，直径波动及外表粗糙度过大，加工本钱高，

制备简单等缺点，这些缺点使得它们无法满足低损耗传输的要求。

目前所使用的光纤主要有两种，一种是传统的氧化硅光纤，一种是型的光子晶体

光纤。光子晶体光纤中心为空气孔柱或石英