影像式闪测仪校准规范(征求意见稿).docxVIP

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF××××—202X

影像式闪测仪校准规范

CalibrationSpecificationforQuickImagingProbeMeasuringMachine

（征求意见稿）

202X–XX–XX发布

202X–XX–XX实施

国家市场监督管理总局发布

影像式闪测仪校准规范

CalibrationSpecificationforQuickImagingProbeMeasuringMachine

JJF××××—202X

归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会

主要起草单位：

参加起草单位：

本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释

JJF××××—202×

本规范主要起草人：

参加起草人：

I

目录

前言 1

1范围 2

2引用文件 2

3概述 2

4计量特性 3

4.1尺寸测量一致性 3

4.2尺寸测量误差 3

4.3景深内各截面测量一致性 3

4.4变倍探测误差 3

5校准条件 3

5.1环境条件 3

5.2校准用标准器 3

6校准项目和方法 3

6.1尺寸测量一致性 3

6.2尺寸测量误差 4

6.3景深内各截面测量一致性 5

6.4变倍探测误差 5

7校准结果的表达 5

8复校时间间隔 5

附录A 6

附录B 9

1

前言

JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》、JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》共同构成支撑本校准规范修订工作的基础性

系列规范。

本校准规范为首次制定。

2

影像式闪测仪校准规范

1范围

本校准规范适用于影像式闪测仪的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

JJF1318-2011影像测量仪校准规范

GB/T24762-2009产品几何技术规范(GPS)影像测量仪的验收检测和复检检测JB/T12639-2016闪测影像测量仪

凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本规范。

3概述

影像式闪测仪（以下简称测量仪）是一种基于远心光学成像原理，成像在图像传感器上的广视角大景深的光学影像式测量仪器，广泛应用于机械、电子、仪器仪表等行业。一般情况下，测量仪能一次性获取被测量工件的完整图像，自动识别出测量范围内多个相同

工件，并一次性完成所有工件的测量，故也被称作闪测仪、一键式测量仪。

图1为测量仪示意图，由光源（反射光源、透射光源至少配备一种）、图像传感器（CCD/CMOS相机）、远心镜头、工作台（可移动或者不可移动）等组成。测量模式上，

一般分为广角模式和高精度模式。

图1影像式闪测仪结构示意图

1-图像传感器；2-远心镜头；3-光源；4-工作台

3

4计量特性

4.1尺寸测量一致性

4.2尺寸测量误差

4.3景深内各截面测量一致性

4.4变倍探测误差

5校准条件

5.1环境条件

(a)校准室环境温度：（20±3）℃;

(b)相对湿度：≤75%RH；

(c)校准室内无影响测量的振动、光噪音、气流扰动等干扰源。

5.2校准用标准器

表1校准项目及校准用标准器

序号

校准项目

校准用标准器

1

尺寸测量一致性

标称直径(5~30)mm，圆度优于3μm的圆形靶标

2

尺寸测量误差

二维掩膜板和线纹尺，不确定度不

大于MPE

3

景深内各截面测量一致性

标称直径(5~30)mm，圆度优于3μm的圆形靶标

4等量块

4

变倍探测误差

标称直径(5~30)mm，圆度优于3μm的圆形靶标

注：允许使用满足要求的其他标准器开展校准工作。

6校准项目和方法

校准前，首先对影像式闪测仪的外观及各部分相互作用进行检查，确认没有影响校准

正确实施和校准结果的缺陷。

6.1尺寸测量一致性

4

此项计量特性分别在广角模式和高精度模式下进行校准。按照图2所示在视场内选择均匀分布的5个测量位置，选取尺寸合适的圆形靶标，靶标尺寸应保证在最小放大倍率时靶标直径为视场大小的10%~20%。将靶标依次放置于各测量位置，调节影像清晰，分别测

得各测量位置处的圆直径为Di，以Dmax-Dmin作为视场内尺寸测量一致性的结果。

图2视场测量位置分布示意图

6.2尺寸测量误差

6.2.1广角模式尺寸