原创力文档- 16
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- 2024-03-02 发布于四川
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本发明公开了一种高纯度Y2O3立方相涂层的制备方法，属于涂层材料技术领域。本发明方法将悬浮液用大气等离子悬浮液喷涂技术喷涂于经预处理的基材表面，并以氩气和氧气为等离子气体，氩气和氧气的混合气体(Ar/O2)为主气，送粉氩气为次气，配合特定的流量条件，制得单一立方相结构、且无杂质相及亚稳相的Y2O3涂层，同时涂层具有极低的孔隙率、高结合强度和更优异的耐磨耐腐蚀性能，低破损、脱落等风险，在半导体制造机台内降低发生Particle异常现象风险。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117626159A
(43)申请公布日2024.03.01
(21)申请号202311556095.0
(22)申请日2023.11.20
(71)申请人江苏凯威特斯半导体科技有限公司
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