真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分：涡轮分子泵 编制说明.docx

《真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵》

编制说明

（征求意见阶段）

一、工作简况

1任务来源

本项目是根据国标委国家标准制修订计划（国标委发[2023]37号文），计划编号T-604，项目名称“真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵”进行制定，主要起草单位：北京中科

科仪股份有限公司，计划应完成时间2024年。

2主要工作过程

起草（草案、论证）阶段：2023年8月15日，北京中科科仪股份有限公司收到计划批复文件。作为标准制定的组织单位及主要起草单位，为了高质量、按时完成本次国家标准的编制起草工作，组织成立“真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵”起草工作组，确定草案的工作方案，负责草案的编写和进度控制。该项目等同转化ISO21360-4:2018，工作组广泛调研了涡轮分子泵的相关标准及文献，并对业内的涡轮分子泵产品做了调研、分析，确定了本标准的主框架、完成了标准草案初稿。随后，工作组组织了标准审查会对标准草案和编制说明进行了详细的审查，对必须注意的事项作了深入讨论与研究，提出了

修改意见，对草案初稿作了进一步的补充完善，形成标准征求意见稿，于2024年2月6日报至秘书处。

征求意见阶段：经标委会秘书处审核，于2024年3月1日由工作组牵头负责通过网站宣传、杂志登载、

微信公众号登载等方式公开征求意见。

3主要参加单位和工作组成员及其所做的工作等

二、标准编制原则和主要内容

1.标准编制原则

本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，以及标准的目标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本标准的制定工作，且与技术创新、试验验证、

产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

本标准起草过程中，主要参照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》的要求进行编写。在标准转化过程中，综合考虑生产企业的能力和用户的利益，寻求最大的经济、社会

效益，充分体现了标准在技术上的先进性和技术上的合理性。

2.标准主要内容

本标准是等同采用ISO21360-4：2018《Vacuumtechnology─Standardmethodsformeasuringvacuum-pump

performance─Part4:Turbomolecularvacuumpumps》

本标准是在GB/T40344.1的基础上，规定了涡轮分子泵的性能测量方法和测量装置。标准中规定了以流量法和小孔法测量体积流率的步骤和装置，最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力、振动等参数的

测量方法和测量装置。

本标准适用于所有规格和型式的涡轮分子泵。包括：带机械轴承或磁轴承的涡轮分子泵、带或不带附加

牵引级的或其它转子抽气级的涡轮分子泵、带一个或多个进气口的涡轮分子泵。

3、解决的主要问题

本标准等同采用ISO21360-4:2018，是GB/T40344的第四部分。GB/T40344.1中规定了真空泵性能测量最基本的方法和装置，但特定种类的真空泵因此性能和结构特点，需根据其特性来测定性能数据、极限值和特定运行条件。如最大流量和振动的测量方法就未涵盖在GB/T40344.1中。而国内原有的GB/T7774-2007等同转化的ISO5302：2003，该国际标准已然废止，国际上涡轮分子泵的性能参数、测量方法和测量装置已发生了变化，国内的标准已然无法满足当前的设计、制造、应用和检测等需求。本标准的制定可为涡轮分子泵的设计、制造、验收、检测和使用提供指导和规范，同时亦为其推广应用提供有效的技术支撑和科学合理

的测试比对方法，有得于推动涡轮分子泵的技术提升和性能优化。

三、主要试验（或验证）情况

本标准是关于测试方法的基础标准。在修订过程中也对国外和国内样品进行了对比测试验证。测试方法和条件遵循等同标准ISO21360-4:2018(E)，测试项包括体积流率（包括流量法和小孔法）、压缩比、最大流量、临界前级压力、基础压力、振动等，测试过程完整、连续，相关对比测试的技术数据基本一致，结果支

持等同采用ISO21360-4:2018(E)标准。

四、标准中涉及专利的情况

本标准不涉及专利问题。

五、预期达到的社会效益、对产业发展的作用等情况

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动