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多晶硅的三大生产工艺之比较

多晶硅的生产工艺：从西门子法到改进西门子法

从西门子法到改进西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。

1955年，德国西门子开发出以氢气〔H2〕复原高纯度三氯氢硅〔SiHCl3〕，在加热到1100℃左右的硅芯〔也称“硅棒”〕上沉积多晶硅的生产工艺；1957年，这种多晶硅生产工艺开头应用于工业化生产，被外界称为“西门子法”。

由于西门子法生产多晶硅存在转化率低，副产品排放污染严峻〔例如四氯化硅SiCl4〕的主要问题，升级版的改进西门子法被有针对性地推出。改进西门子法即在西门子法的根底上增加了尾气回收和四氯化硅氢化工艺，实现了生产过程的闭路循环，既可以避开剧毒