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电子气体惰性稀有气体

1范围

本文件规定了电子用惰性稀有气体的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、

贮存及安全信息的要求。

本文件适用于以工业惰性稀有气体为原料提纯制得的电子用惰性稀有气体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件

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GB/T5275.5气体分析动态体积法制备校准用混合气体第7部分热式质量流量控制器

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮

GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法

GB/T11640铝合金无缝气瓶

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB/T14194压缩气体气瓶充装规定

GBl5258化学品安全标签编写规定

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T43306气体分析采样导则

TSG23气瓶安全技术规程

3术语和定义

3.1

惰性稀有气体noblegas

包括氪、氖、氙。

4技术要求

2

惰性稀有气体的技术要求应符合表1～表3的规定。

表1氪技术要求

项目指标

氪纯度（Kr）(摩尔分数)/10-2≥99.9995≥99.9999

氢(H)含量（摩尔分数）/l02-6＜0.1＜0.1

（氧+氩）（O+Ar）含量(摩尔分数)/102-6＜0.5＜0.1

氮(N)含量（摩尔分数）/l02-6＜1.0＜0.2

一氧化碳（CO）含量（摩尔分数）/l0-6＜0.1＜0.05

二氧化碳（CO）含量（摩尔分数）/l02-6＜0.1＜0.05

甲烷（CH）含量（摩尔分数）/l04-6＜0.1＜0.05

非甲烷总烃（以甲烷计）含量（摩尔分数）/l0-6＜0.05＜0.05

氙(Xe)含量（摩尔分数）/l0-6＜0.5＜0.1

四氟化碳（CF）含量（摩尔分数）/l04-6＜0.05＜0.02

六氟乙烷（CF）含量(摩尔分数)/10-6＜0.05＜0.02

26

六氟化硫（SF）含量(摩尔分数)/106-6＜0.05