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第60卷第17期/2023年9月/激光与光电子学进展综述
飞秒激光制备金属表面微纳结构及其技术应用
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王锁成，董世运，闫世兴，刘晓亭
陆军装甲兵学院装备再制造技术国防科技重点实验室，北京100072
摘要飞秒激光加工是近年来微纳加工领域中一种重要的加工方法。飞秒激光不仅能够对材料进行表面改性、烧蚀，更
具有在特定区域加工高精度三维结构的独特优势，飞秒激光加工在微纳加工领域有着广阔的应用前景。本文主要阐述
了飞秒激光与金属相互作用的一般过程，介绍了飞秒激光直写加工、飞秒激光诱导产生表面周期性结构、飞秒激光复合
化学方法等表面微纳结构的制备方法。然后，分别从环境工程、航空航天以及生物医学领域阐述了飞秒激光在金属表面
制备微纳结构的应用。最后，对当前飞秒激光制备微纳结构的不足和未来研究方向进行总结和展望。
关键词飞秒激光；三维结构；微纳加工；表面微纳结构
中图分类号TN249文献标志码ADOI：10.3788/LOP222196
FabricationofMicro/NanoStructuresonMetalSurfacesbyFemtosecond
LaserandItsTechnicalApplications
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WangSuocheng,DongShiyun,YanShixing,LiuXiaoting
NationalKeyLaboratoryforRemanufacturing,ArmyAcademyofArmoredForces,Beijing100072,China
AbstractFemtosecondlaserhasbeenanimportantprocessingtechniqueformicro/nanostructuresinrecentyears.Itcan
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modifyandablatematerials,andiscapableofmachininghighprecisionthreedimensionalstructuresinspecificareas.
Femtosecondlasermachininghasbroadapplicationprospectsinmicro/nanoprocessing.Inthispaper,thegeneral
interactionprocessbetweenfemtosecondlaserandmetalsisdescribed,andthemethodsforthepreparationofmicro/nano
structuresareintroduced,suchasfemtosecondlaserdir
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